Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9280985 à vendre en France
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GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 est un graveur/asher conçu pour offrir une flexibilité de processus supérieure ainsi que des performances d'équipement supérieures. Le système dispose d'une capacité de production de 6 "wafers par heure (wph) et est capable de graver des wafers de tailles allant de 4" à 6 ". L'outil offre une option inestimable pour les fabricants ayant besoin de traiter de plus grandes plaquettes. Il peut accueillir jusqu'à seize (16) chambres de processus offrant aux clients une gamme de choix de processus de différentes recettes. GASONICS Aura 1000 est un outil de gravure/augmentation haute capacité et haute performance pour un large éventail d'applications. Il combine technologie de pointe et ergonomie conviviale pour un fonctionnement et une maintenance simplifiés. L'outil offre également une flexibilité de processus supérieure grâce à ses trois recettes intégrées dans chaque chambre de processus. Il est également équipé de fonctionnalités innovantes telles que l'intelligence des processus, les diagnostics automatisés et les capacités d'auto-étalonnage. L'unité a la capacité de graver divers matériaux semi-conducteurs, dont le silicium, le germanium et divers autres composés III-V. NOVELLUS Aura 1000 a la capacité de fournir des résultats optimaux tout en réduisant le coût de possession. Il a été conçu avec une machine de commande avancée, orientée vers la production pour assurer un processus de gravure efficace, fiable et rentable. L'outil utilise une plate-forme de gravure multi-efficaces, multi-modes et multi-voies, ainsi qu'une programmation de recette facile à utiliser. L'ensemble de l'actif est également conçu pour superviser en permanence le processus et effectuer des ajustements en fonction des retours du modèle de capteur. Cela garantit que le processus de gravure est cohérent et en accord avec la spécification du client, fournissant une excellente performance du processus et le temps d'exécution. En outre, Aura 1000 offre la surveillance complète de l'usine et le contrôle des processus, avec la possibilité de traiter plusieurs plaquettes simultanément. L'outil est conforme aux normes de l'ECD et d'autres normes industrielles pertinentes, fournissant une solution idéale pour des processus de gravure efficaces et de haute précision. L'équipement est conçu avec un système intégré de manutention des particules, assurant que l'environnement de l'utilisateur n'est pas contaminé et que l'appareil est maintenu propre. Dans l'ensemble, GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 est un graveur/asher puissant, convivial et abordable conçu pour fournir aux fabricants un outil rentable et orienté vers la production pour une large gamme d'applications de gravure de semi-conducteurs.
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