Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9284336 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 est un graveur/asher haute performance développé pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Il est conçu pour être à la fois économique et fiable, fournissant une plate-forme fiable et précise pour le traitement des substrats dans une variété de procédés. GASONICS Aura 1000 dispose de la technologie brevetée Auto-Polarity Conversion (APC) pour une modélisation rapide et précise. Cet équipement permet une plus grande précision et répétabilité par rapport aux autres systèmes, et est capable de graver des systèmes avec des rapports d'aspect élevés et des substrats différents. Cet etcher utilise les procédés ALD, Plasma Clean et Chemical Vapor Deposition (CVD) pour modéliser le processus de sélection, les caractéristiques en forme d'alignement vertical et la véritable restauration en hauteur. NOVELLUS Aura 1000 utilise un système de transfert de substrat Centricity Starring pour la manipulation et le positionnement précis du substrat. Cette unité assure un chargement, un positionnement et une rotation précis des substrats. D'autres fonctionnalités incluent l'Auto-nivellement, la cartographie Auto-Wafer, l'expansion S-Stage, et le débit de traitement à l'échelle. En outre, cet etcher dispose également d'un nettoyage intégré des substrats avec des technologies de nettoyage aux ultrasons et des plaquettes. Ceci permet un nettoyage efficace et précis de la surface du substrat. De plus, la machine à plasma Aura 1000 utilise une faible filtration des particules, réduisant l'accumulation de particules qui peuvent potentiellement nuire à l'appareil. GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 est livré avec un outil d'exploitation hautement intégré, qui offre une surveillance en temps réel des températures, des pressions et d'autres paramètres de processus. Il existe également une variété de recettes de processus, profils et paramètres qui fournissent la flexibilité de l'opérateur pour personnaliser le processus de gravure et d'ashing. Cet etcher est facile à utiliser et à entretenir, avec une interface graphique conviviale et une documentation intégrée complète. Dans l'ensemble, GASONICS Aura 1000 est un graveur avancé, fiable et rentable pour la fabrication de semi-conducteurs de précision. Sa conception technologiquement avancée, la manipulation intégrée des processus et des substrats, et des procédures de nettoyage soignées fournissent un atout efficace et précis pour la gravure et la cueillette des dispositifs semi-conducteurs avancés d'aujourd'hui.