Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9390033 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 est un équipement de graveur/asher haut de gamme utilisé pour des applications avancées de semi-conducteurs telles que la prise de contact en tranchée profonde et la mémoire flash. Le système utilise des technologies de gravure de pointe propriétaires, y compris la gravure diélectrique par voie humide en cuivre et en pré-métal, pour produire des rendements élevés avec d'excellentes performances électriques. GASONICS Aura 1000 dispose de trois modules de processus configurables avec un large choix de chimies de gravure avancées. La tête de traitement de l'unité peut être adaptée à chaque matériau et aux exigences de gravure spécifiques de chaque caractéristique. Il utilise un logiciel d'automatisation puissant pour activer les paramètres de gravure accordables et exécuter des processus sans erreur. La machine est équipée d'un mandrin rotatif haut de gamme pour accueillir différentes tailles de plaquettes, avec la possibilité de commuter automatiquement entre les différents substrats. Il est également capable de manipuler des structures planaires et 3D, telles que des piliers en cuivre et des piles TSV. L'un des principaux avantages de NOVELLUS Aura 1000 est sa capacité à traiter de grandes quantités de substrats en une seule fois. Par rapport à d'autres systèmes de gravure, Aura 1000 peut augmenter le débit des plaquettes et gagner du temps en manipulant jusqu'à 24 plaquettes simultanément. En plus de ses capacités de traitement, GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 dispose également de systèmes de surveillance avancés pour garantir des performances cohérentes et des résultats fiables. L'outil intègre des outils de métrologie de niveau avancé pour mesurer en permanence les taux de gravure et ajuster les paramètres des actifs pour un contrôle optimal des processus. Dans l'ensemble, GASONICS Aura 1000 offre une plate-forme idéale pour la gravure et la cueillette de caractéristiques et de structures avancées. En offrant une gamme complète de capacités de gravure et un contrôle supérieur des processus, NOVELLUS Aura 1000 peut aider à améliorer la productivité et le rendement des produits, tout en fournissant des solutions de processus fiables et rentables.