Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9392786 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000 est un graveur/asher qui offre une productivité élevée, un faible entretien, un débit moyen à élevé et des résultats cohérents. Les composants de base de la machine comprennent une chambre de gravure avec un générateur RF de grande puissance et un environnement basse pression ainsi qu'une chambre ashing avec des générateurs plasma haute pression et micro-ondes. La machine est capable de graver et d'aspirer divers matériaux tels que InP, GaAs, Si et SiGe. Les composants principaux de la chambre sont la chambre de processus, endbell, source RF, unité d'adaptation RF, IGBT Match, équipement sous vide, chargeur, soufflet, serrure et système d'échappement. Les différents composants de la source RF comprennent le générateur RF, l'unité d'appariement RF, IGBT Match, la torche RF et le bloqueur RF. La source hyperfréquence se compose d'un magnétron pour le processus de cueillette, et d'un magnétron de forte puissance pour le processus de gravure. GASONICS Aura 1000 est une unité de gravure/cendrage rentable qui peut manipuler 200-300 plaquettes jusqu'à un diamètre de 8 pouces. Il est conçu pour un débit moyen à élevé et offre une large gamme de procédés de gravure et de cueillette. Par exemple, il est capable de gravure ionique réactive profonde (DRIE), de gravure ionique par immersion plasmatique (PIIE) et d'oxydation assistée par plasma. La chambre de procédé est équipée d'une installation de nettoyage de nanoparticules pour assurer des substrats sans particules. Il facilite également un contrôle de température reproductible et fiable pour garantir une dynamique optimale des processus. Cette machine est également équipée du logiciel OptiSelect qui aide l'utilisateur à sélectionner les meilleurs processus de gravure et d'ashing pour obtenir les performances et les résultats souhaités. Pour garantir des résultats optimaux, NOVELLUS Aura 1000 prend en charge à la fois la surveillance des processus classiques et l'optimisation automatique des processus. Cela inclut les paramètres de surveillance tels que la sélectivité de gravure, le taux de gravure, le contrôle de la taille des fonctionnalités, la distance d'écart et l'uniformité du masque. En outre, la machine est capable de prédire et de détecter la dérive du processus, empêchant ainsi une variation significative du processus. Dans l'ensemble, Aura 1000 est un graveur/asher idéal pour les applications de débit moyen à élevé. Il est très efficace, facile à utiliser et fournit des résultats fiables et reproductibles. La machine est également équipée de diverses caractéristiques de sécurité telles qu'une machine de détection d'étincelles pour assurer un environnement de processus sûr.