Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #293654416 à vendre en France
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ID: 293654416
Taille de la plaquette: 8"
Asher, 8"
806 Process photo stripper
Single chamber type
Operate aluminium material
PLC Controller.
GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 est un graveur et asher utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Son design physique unique est idéal pour une utilisation dans des lignes de processus serrées et encombrées, puisqu'il a une empreinte plus petite que beaucoup de ses concurrents. La machine dispose d'une optique avancée, de la détection d'images et de contrôles robotiques améliorés qui permettent à l'équipement d'augmenter considérablement les rendements de traitement. En outre, il dispose d'un large éventail de fonctions automatisées, y compris le chargement et le déchargement des plaquettes, la livraison et le dépôt de gaz, ainsi que l'alignement et la fixation des plaquettes. Cette combinaison unique de conception efficace et de traitement fiable fait de GASONICS Aura 2000 un choix idéal pour la fabrication de semi-conducteurs. La machine est conçue avec un système spécial de balayage rapide d'images laser (FLIS) qui est capable de détecter rapidement et avec précision les motifs désirés sur la plaquette. Cette unité permet un taux de précision de gravure extrêmement élevé et une flexibilité de procédé beaucoup plus grande. De plus, le multiplexeur optique permet à la machine d'effectuer jusqu'à huit tâches de gravure simultanées, augmentant son débit et maximisant les capacités de la machine. En fonction des paramètres de gravure désirés, la machine peut être utilisée pour une grande variété de types de processus, y compris la mise à l'échelle de la largeur de ligne, la fixation des métaux, le dépôt des couches métalliques et la conception personnalisée. En termes de livraison de gaz et de dépôts, NOVELLUS Aura 2000 est équipé d'un outil de livraison de gaz à cinq soupapes qui permet à l'actif de traiter efficacement jusqu'à 15 gaz simultanément. Ce modèle comprend une station de livraison de gaz, qui comprend une unité de purge automatique et une station de contrôle de gaz, ce qui permet aux techniciens de contrôler les flux de gaz et de les équilibrer à distance. La machine dispose également d'un équipement de manutention entièrement automatisé qui aide à augmenter le débit et à réduire les coûts de main-d'œuvre manuelle. De plus, le système est capable de placer des couches de gravure prédéfinies sur la plaquette en un rien de temps, grâce à ses commandes robotiques avancées. En outre, Aura 2000 est conçu avec plusieurs caractéristiques de sécurité. Il comprend une unité de filtration à double pression qui aide à purifier les gaz avant leur entrée dans la chambre, ainsi que des dispositifs de sécurité au laser et de multiples garde-fous pour prévenir les accidents dus à l'utilisation de matières dangereuses. De plus, la machine dispose d'une protection électrique et cathodique pour plus de sécurité. En résumé, peu importe l'application, GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 est le choix idéal pour une gravure et un cendrage efficaces, fiables et sûrs.
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