Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #293654417 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 est un équipement de gravure ionique réactive/asher léger et profond utilisé dans la fabrication de circuits intégrés. Il est utilisé pour créer, modifier et optimiser les géométries des couches de métallisation, des contacts et des vias, d'autres structures métalliques ou semi-conductrices et des lignes métalliques. C'est un outil avancé pour le traitement ultra-fin des lignes et des motifs métalliques, avec une grande précision et un contrôle dimensionnel sur les structures métalliques. Le système utilise un vaporisateur à grande vitesse pour transformer une solution de métal liquide en vapeur qui est délivrée à la surface du substrat. Les particules métalliques vaporisées sont déposées de manière finement contrôlée et une fonction pré-propre intégrée permet d'optimiser l'adhérence de la résine photosensible et de minimiser la probabilité de contaminations consécutives. Une fois les couches métalliques formées, le substrat est placé dans le réacteur à plasma, où le procédé de gravure ionique réactive peut être optimisé par des paramètres réglables tels que la pression, la puissance et le temps de séjour. GASONICS Aura 2000 bénéficie d'une homogénéité et d'une sélectivité supérieures, ce qui en fait un choix parfait pour le traitement « effilé », qui permet de graver les lignes métalliques épaisses et minces dans le même motif. Il permet également la gravure de matériaux d'isolation transparents qui permettent la métallisation multicouche dans des objets tridimensionnels. L'unité est alimentée par la plate-forme d'exploitation GASONICS TM 10X qui fournit des recettes de processus flexibles et l'enregistrement intégré des données, offrant aux opérateurs un grand contrôle du processus et une évaluation détaillée des structures obtenues. Il comprend également un moniteur LCD de 16 "pour le contrôle pratique et la surveillance de la machine. NOVELLUS Aura 2000 est bien connu pour ses résultats de gravure supérieurs et sa propreté. Sa construction robuste assure un fonctionnement fiable et la stabilité même aux températures très élevées utilisées dans le processus de gravure des ions réactifs. Son entretien extrêmement faible et ses taux d'émission en font l'un des systèmes de gravure les plus respectueux de l'environnement.