Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #293654418 à vendre en France
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ID: 293654418
Asher, 8"
Single chamber type
Operate copper material
PLC Controller.
GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 est un Etcher/Asher Plasma Haute Performance qui est conçu pour une utilisation dans une grande variété d'applications de traitement de semi-conducteurs. Ce graveur/asher de plasma utilise la technologie de plasma avancé (APT) pour fournir des propriétés de gravure et de cendrage sur les métaux avancés, y compris l'aluminium, le cuivre et le titane. GASONICS Aura 2000 est conçu pour la performance et la fiabilité des procédés haut de gamme, et est la norme d'or de l'industrie pour les applications de gravure et de cendrage. NOVELLUS Aura 2000 utilise une source unique de plasma basse pression (LPPS) pour atteindre ses capacités de gravure et d'ashing avancées. Avec cette technologie, la vitesse de gravure est contrôlée à la fois par la pression et la température chambre/source. La pression et la température peuvent être modifiées pour répondre aux exigences du client en matière de gravure et de cendres. Le LPPS permet également une densité ionique élevée, ce qui améliore l'uniformité de gravure et la sélectivité. En outre, Aura 2000 dispose Proprietary Internal RF System (PIRFS) qui permet une flexibilité précise et efficace dans la vitesse de gravure et les niveaux de puissance. Le PIRFS permet également de surveiller le procédé en temps réel ainsi que de peaufiner le procédé en contrôlant des zones de gravure/cendres individuelles dans tout le substrat. Cela permet un fonctionnement plus efficace et des performances plus cohérentes. GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 est capable d'obtenir une profondeur de ligne très fine et une uniformité qui le rend idéal pour la fabrication de matériaux difficiles. Les taux de gravure élevés, l'uniformité et la sélectivité donnent aux utilisateurs la flexibilité de choisir la configuration optimale pour répondre à leurs besoins de gravure. GASONICS Aura 2000 dispose également de dispositifs de sécurité tels que des emboîtements et des diagnostics améliorés. La fonction de diagnostic permet de s'assurer que le système fonctionne correctement tandis que les emboîtements aident à protéger contre le fonctionnement dans des conditions dangereuses. NOVELLUS Aura 2000 est un puissant graveur/asher qui offre une interchangeabilité avec d'autres outils de processus, ce qui le rend facile à intégrer dans n'importe quel environnement semi-conducteur. Avec ses caractéristiques et technologies avancées, ce graveur/asher est bien adapté à un large éventail de besoins de gravure et d'ashing en ce qui concerne les métaux, les nitrures et les oxydes.
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