Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #293761940 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 est un graveur/asher utilisé dans la fabrication de circuits intégrés et autres dispositifs microélectroniques. Il convient au traitement de la plupart des applications courantes de gravure et d'ashing utilisées en production et en ingénierie. L'équipement est conçu pour fournir un processus rapide, fiable et répétable, tout en maintenant un niveau supérieur de flexibilité et de précision. GASONICS Aura 2000 utilise un procédé breveté en trois étapes conçu pour optimiser le nettoyage des substrats et la gravure des matériaux. La première étape du procédé est une étape de gravure. Au cours de cette étape, une couche nécessaire de chimie de gravure et de passivation est appliquée sur le substrat. La couche de chimie de gravure et de passivation est conçue pour décomposer les contaminants organiques ou métalliques qui peuvent exister sur le substrat et est conçue pour laisser une surface de substrat propre. La deuxième étape est l'étape d'ashing. Au cours de cette étape, de l'oxygène est introduit dans l'enceinte pour commencer le processus de cueillette. L'oxygène réagit avec les contaminants de surface et les oxyde, les faisant passer de la forme solide à la forme gazeuse. En outre, le processus de cueillette aide à éliminer tout résidu restant qui pourrait avoir été laissé derrière le processus de gravure. La dernière étape du processus est l'étape de nettoyage. Au cours de cette étape, la chambre est inondée d'azote gazeux, ce qui aide à évacuer tout résidu de procédé restant. Le gaz azoté est également utilisé pour filtrer les impuretés de l'atmosphère de la chambre, assurant ainsi une atmosphère propre et uniforme à l'intérieur de la chambre. NOVELLUS Aura 2000 est équipé d'une gamme complète de fonctions de suivi et d'automatisation des processus, qui garantissent un contrôle et une répétabilité précis des processus. Le système est également équipé d'un contrôleur intégré, qui permet une programmation d'unité facile et l'optimisation des processus. La machine dispose également d'une interface graphique intuitive qui permet à l'utilisateur de configurer et de contrôler l'outil facilement et rapidement. Aura 2000 est une solution idéale pour une variété d'applications de gravure et d'ashing. L'atout permet d'assurer des performances de processus rapides, fiables et répétables, tout en offrant un niveau supérieur de flexibilité et de précision. Avec ses solutions d'automatisation intégrées, GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 est une solution rentable et efficace pour de nombreux processus de gravure et d'ashing.