Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #9077802 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 est un graveur/asher de plaquettes haut de gamme utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Il est équipé de deux chambres de procédés, capables de contrôler les taux de dépôt et de gravure de différents matériaux. Il est livré avec une multitude de fonctionnalités, telles que le support pour les diélectriques bas-k, un viseur à quartz pour la surveillance des chambres, la capacité de chargement et de polarisation des substrats multi-chambres, ainsi que des options pour la pulvérisation d'ions et de sources de plasma. GASONICS Aura 2000 peut graver à travers une grande variété de matériaux en utilisant divers procédés tels que la gravure ionique réactive, la gravure ionique réactive profonde, la gravure organique et la gravure à haut rapport d'aspect. Il dispose également d'un équipement de surveillance optique intégré, permettant une surveillance en temps réel du processus de gravure. L'appareil dispose d'une interface avancée de contrôle des processus. Il peut être programmé pour exécuter des processus standard ou des processus personnalisés en fonction de différentes couches, dispositifs et structures. Il est capable d'exécuter plusieurs processus en séquence, ce qui réduit le temps de cycle. Il est pré-configuré avec une gamme de recettes conçues pour optimiser les conditions de processus en fonction des gravures souhaitées. NOVELLUS Aura 2000 dispose également d'un point de contrôle automatisé des soupapes, ce qui permet d'assurer la cohérence des processus de gravure en assurant la répétabilité et la précision. Le dispositif est équipé d'un bilan de gaz réactif et de systèmes de distribution de gaz inerte. Il est conçu pour garantir que des processus plus propres sont possibles au fil du temps, équilibrant le besoin de rapidité et de propreté des processus. Il dispose également d'une variété de capteurs et d'équipements de surveillance pour assurer la sécurité des opérations dans les chambres et autour des plaquettes, contribuant à éviter tout problème. La machine est construite avec une variété de sous-systèmes de diagnostic et de surveillance, permettant une optimisation avancée des processus. Il comprend un module de dégazage pour l'élimination des contaminants de la chambre de traitement et un système d'autofocus pour le contrôle automatique du foyer de gravure des plaquettes. L'unité est compatible multi-chambres, ce qui la rend facile à intégrer avec d'autres outils dans la ligne de production. Dans l'ensemble, Aura 2000 est une machine de gravure et d'asher de pointe, spécialement conçue pour simplifier les procédés et augmenter le débit dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. Il offre une grande précision et une gravure de plaquettes à haut rendement, ainsi que diverses fonctionnalités de contrôle et de multiples options pour le gaz de gravure et d'autres procédés.