Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #9078051 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 est un équipement de graveur/asher conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Il est capable de graver des caractères avancés en microns à un seul chiffre, ce qui en fait l'un des systèmes les plus précis disponibles. GASONICS Aura 2000 utilise la résonance cyclotron électronique (ECR) dans une chambre à vide ultra-haute pour obtenir des résultats de gravure très précis. Le système a deux capacités de gravure ECR différentes - avec une fréquence de 2,45 GHz ou de 2450 MHz selon la précision de gravure souhaitée. NOVELLUS Aura 2000 a également une fonction de nettoyage plasma basse fréquence, qui est utilisé pour réduire les points d'endommagement sur la surface du substrat et améliorer les résultats de gravure. L'unité dispose d'une interface de contrôle intuitive, avec une interface utilisateur graphique (interface graphique) qui facilite le contrôle du processus de gravure. Aura 2000 dispose d'une machine à recette automatisée qui permet de mettre en place plusieurs recettes pour plusieurs substrats. Il supporte également les capacités d'accès à distance, soit par une connexion Ethernet, soit par une liaison fibre optique. En outre, l'outil est capable d'interfaces industrielles standard, telles que SCSI-2 et RS-232. La précision des composants mécaniques de GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 le rend adapté à la gravure de motifs et de caractéristiques avancés. Les étages linéaires sont capables de déplacer le substrat avec précision selon trois axes et les systèmes motorisés de débit massique et de vide sont capables de fonctionner avec une grande stabilité et précision. L'actif dispose également d'un modèle de pointage très précis qui contribue à améliorer la précision du processus de gravure. Les recettes avancées de procédé pour GASONICS Aura 2000 permettent aux utilisateurs d'optimiser le processus de gravure en fonction des besoins du substrat. Cela donne aux utilisateurs la flexibilité de graver différents types de matériaux sans aucun résultat compromis. L'équipement dispose également d'une fonction d'automatisation, ce qui permet d'optimiser les paramètres de gravure pour différents substrats. Dans l'ensemble, NOVELLUS Aura 2000 est un système de graveur/asher avancé capable d'obtenir des résultats de gravure très précis. L'unité dispose d'une machine de pointage de haute précision et de recettes de processus avancées, ainsi que d'une interface de contrôle intuitive et des capacités d'accès à distance. Avec ses fonctionnalités et capacités avancées, il est un choix idéal pour la gravure de fonctionnalités avancées dans les applications de l'industrie des semi-conducteurs.