Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #9233409 à vendre en France
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ID: 9233409
Taille de la plaquette: 8"
Asher, 8"
Model no: 99-0339
Install type: Tabletop
Machine run time: 9,646 Hours
Filament run time: 16,005 Hours
Wafer passes: 7132
Includes:
AURA 2000LL PR Strip
BOC EDWARDS NGH425100 Main chamber pump
BOC EDWARDS iQDP40 LL Pump
Microwave generator:
NATIONAL ELECTRONICS A95-045-01-E
Position: Main chamber
Gas line / Gas / MFC Make / MFC Model
1 / O2 / HONEYWELL / MIDAS-E-LEL
2 / N2H2 / HONEYWELL / MIDAS-E-LEL.
GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 est un graveur/asher de haute précision conçu spécifiquement pour les besoins avancés de l'industrie des semi-conducteurs. Ce puissant graveur utilise une combinaison unique de techniques de gravure et de cendres pour produire des cartes de circuit et des circuits intégrés qui répondent aux normes les plus élevées de qualité et de fiabilité. GASONICS Aura 2000 est équipé d'une grande variété de caractéristiques haut de gamme pour garantir des performances de gravure/cendres optimales et des résultats. Son équipement optique ultra-haute résolution fournit jusqu'à 25 000 lignes par pouce de résolution, ce qui lui permet d'atteindre le plus haut niveau de précision dans les processus de gravure et de cueillette. Le système utilise également une chambre à quartz et à gaz ionisé pour la gravure précise de motifs de circuits complexes ainsi qu'une chambre de gravure haute pression pour le nettoyage et la gravure des métaux. NOVELLUS Aura 2000 dispose également d'une variété de capacités avancées de manutention des matériaux. Son unité de manutention rapide des plaquettes permet un chargement et un déchargement rapides et efficaces des appareils, tandis que son trieur de plaquettes avancé basé sur des robots permet un déplacement et un positionnement précis. En outre, sa machine de transport basée sur convoyeur permet la livraison et la manipulation précises de circuits intégrés avec jusqu'à 1000 ports E/S. Enfin, Aura 2000 est conçu avec une multitude de caractéristiques de sécurité pour assurer des conditions de fonctionnement optimales. Ses modules de double contrôleur permettent de surveiller et de superviser plusieurs opérations et une grande variété de capteurs fournissent des données sur les conditions environnementales de l'outil. Cet actif est également construit avec un modèle de refroidissement avancé pour le contrôle de la température et le fonctionnement efficace. L'équipement GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 est un appareil de gravure/cueillette incroyablement puissant qui est conçu pour répondre aux exigences rigoureuses de l'industrie des semi-conducteurs. Son système optique avancé et ses capacités de manutention lui permettent de produire des résultats fiables et de haute qualité et ses caractéristiques de sécurité garantissent un fonctionnement sûr et sécurisé de l'unité.
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