Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #9247828 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 est un graveur/asher utilisé pour diverses applications, telles que la photolithographie, la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et l'emballage au niveau des plaquettes. Il est conçu pour graver précisément les structures aux petites tailles, tout en maintenant des parois latérales propres dans le processus de gravure. La gravure a lieu dans une chambre à vide, ce qui la rend idéale pour les procédés à basse température ne nécessitant pas de couverture de protection de l'air ambiant. GASONICS Aura 2000 utilise une variété de technologies pour obtenir les résultats escomptés. Ceux-ci comprennent un procédé de gravure de plasma induit par laser, des procédés de dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD), une gravure par faisceau d'ions et une gamme de traitements en aval. Le procédé de gravure par plasma induit par laser crée un motif de gravure précis à l'aide d'un faisceau laser et d'un plasma de gaz inerte. Il produit une ligne nette et propre, sans rugosité de bord, parfaite pour des caractéristiques complexes. Les procédés PECVD permettent le dépôt à basse température d'oxydes de silicium et d'autres matériaux dans un environnement sous vide. Ce procédé est idéal pour créer des structures difficiles qui ne sont pas possibles avec les techniques classiques. La gravure par faisceau d'ions est utilisée pour affiner le processus de gravure en contrôlant l'énergie, la direction et la vitesse des ions dans le processus. Elle est particulièrement efficace pour les structures à haut rapport d'aspect (HAR) et submicroniques. Enfin, NOVELLUS Aura 2000 propose une gamme complète de solutions de processus en aval. Cela comprend le nettoyage post-gravure, la passivation des parois latérales, l'optimisation des films et l'analyse des matériaux. Cela permet un contrôle rapide et précis du processus de gravure, ce qui donne des résultats parfaits. En résumé, Aura 2000 est une puissante machine de gravure et de cendrage qui est conçue pour produire un motif de gravure précis et propre à de petites tailles. Il utilise une combinaison de gravure de plasma induite par laser, de processus PECVD et de gravure de faisceau d'ions, ainsi que le traitement à bord en aval pour obtenir des résultats parfaits.