Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #9247831 à vendre en France
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ID: 9247831
Taille de la plaquette: 8"
Asher, 8"
Model no: 99-0339
Install type: Tabletop
Machine run time: 17,803 Hours
Filament run time: 573 Hours
Wafer passes: 10191
Includes:
AURA 2000LL PR Strip
BOC EDWARDS NGH425100 Main chamber pump
BOC EDWARDS iQDP40 LL Pump
Microwave generator:
NATIONAL ELECTRONICS A95-045-01-E
Position: Main chamber
Gas line / Gas / MFC Make / MFC Model
1 / O2 / HONEYWELL / MIDAS-E-LEL
2 / N2H2 / HONEYWELL / MIDAS-E-LEL.
GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 est un type d'équipement de graveur/asher qui utilise une source d'énergie radiofréquence (RF) pour graver et nettoyer simultanément les profondeurs des caractéristiques dans plus d'une plaquette semi-conductrice. Ce système est conçu pour assurer à la fois des fonctions de gravure et de nettoyage sans avoir besoin d'un substrat ou d'un prétraitement. Dans le processus de gravure, la source d'énergie est habituellement une onde RF qui est générée par le magnétron de l'unité. Dans le nettoyage, un gaz vierge, tel que l'argon, est utilisé pour éliminer les particules de laitier créées par le procédé de gravure. La machine GASONICS Aura 2000 se caractérise par son haut niveau de contrôle et d'uniformité des processus, qui est le résultat de sa technologie avancée de sources de plasma à grande surface. Cette technologie assure une répartition uniforme de la fréquence RF sur l'ensemble du substrat, assurant une gravure et un nettoyage uniformes. De plus, sa source de plasma profond lui permet de graver et nettoyer des profondeurs de caractéristiques supérieures à 75 nanomètres. Sa conception ultra bas bruit lui permet également d'obtenir des résultats de nettoyage réussis, même dans de très petites tailles de fonctionnalités. De plus, NOVELLUS Aura 2000 dispose de plusieurs technologies avancées qui permettent aux utilisateurs de maximiser les performances des processus. Parmi ces caractéristiques, mentionnons le traitement à grande vitesse, le fonctionnement à haute pureté, les fonctions de contrôle du matériel et des logiciels de pointe, les temps de cycle à grande vitesse et les capacités de surveillance à distance. Avec son ensemble de contrôle complet, les utilisateurs peuvent facilement surveiller et ajuster les paramètres de processus pour assurer un débit cohérent. La conception avancée d'Aura 2000 permet également aux utilisateurs de personnaliser l'outil en fonction de leurs besoins particuliers. Cette personnalisation permet aux utilisateurs d'ajuster les flux de gaz, les puissances RF et d'autres paramètres pour obtenir les meilleurs résultats. En outre, sa grande chambre et ses mécanismes avancés de chauffage et de refroidissement permettent de contrôler la température afin d'optimiser les performances du matériel. Dans l'ensemble, GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 est un atout avancé de graveur/asher avec une large gamme de fonctionnalités et de capacités. Sa source d'énergie RF, sa source de plasma à grande surface et ses caractéristiques personnalisables en font un outil idéal pour graver et nettoyer les plaquettes semi-conductrices. Son haut niveau de contrôle des processus et son uniformité permettent aux utilisateurs de maximiser leur productivité, tandis que ses fonctionnalités logicielles et matérielles de pointe offrent aux utilisateurs un contrôle complet sur le processus. En utilisant GASONICS Aura 2000, les utilisateurs peuvent facilement graver et nettoyer des profondeurs de fonctions supérieures à 75 nanomètres et obtenir des résultats positifs.
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