Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #9247833 à vendre en France

ID: 9247833
Taille de la plaquette: 8"
Asher, 8" Model no: 99-0339 Install type: Tabletop Machine run time: 79 Hours Wafer passes: 16448 Includes: AURA 2000LL PR Strip BOC EDWARDS NGH425100 Main chamber pump BOC EDWARDS iQDP40 LL Pump Microwave generator: NATIONAL ELECTRONICS A95-045-01-E Position: Main chamber Gas line / Gas / MFC Make / MFC Model 1 / O2 / HONEYWELL / MIDAS-E-LEL 2 / N2H2 / HONEYWELL / MIDAS-E-LEL.
GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 est un graveur/asher chimique de haute performance qui fournit des capacités de gravure et de traitement des cendres de pointe pour la recherche et le développement de pointe. Spécialement conçu pour les procédés de fabrication de dispositifs à échelle réduite, il a la capacité de traiter des substrats de 0,5 à 6 pouces de diamètre. GASONICS Aura 2000 assure un contrôle précis du processus de gravure et d'ashing, permettant aux utilisateurs d'ajuster avec précision la composition de la puissance et du gaz pour obtenir les résultats souhaités. Cette flexibilité est soutenue par une technologie avancée de contrôle des processus, permettant aux utilisateurs de surveiller les paramètres du processus pendant la gravure et le cendrage. Le design avancé de NOVELLUS Aura 2000 minimise le temps nécessaire à la gravure et à la cendre. Les assemblages de buses de haute précision, la technologie avancée de contrôle des processus, les temps de cuisson rapides et la capacité à supporter des plaquettes de plus grand diamètre en font un graveur/asher idéal pour de nombreuses applications. Aura 2000 est également très reproductible, de sorte que les utilisateurs peuvent reproduire avec confiance les mêmes résultats dans plusieurs passes. GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 dispose également de la technologie avancée de verrouillage de charge, qui assure la protection des plaquettes contre la contamination. Il fournit la détection optique des yeux photo et l'automatisation des processus, et dispose d'une chambre de verrouillage de charge réglable pour accueillir différentes tailles et formes de substrats de plaquettes. GASONICS Aura 2000 est conçu pour un fonctionnement efficace et la facilité d'utilisation. Il dispose d'une interface graphique intuitive et d'un suivi des processus graphiques, ce qui permet aux utilisateurs d'ajuster rapidement les paramètres de gravure et d'ashing pour obtenir les résultats souhaités. Son faible poids est un avantage supplémentaire pour ceux qui peuvent avoir besoin de déplacer l'estcher/asher d'un endroit à l'autre. Dans l'ensemble, NOVELLUS Aura 2000 est un graveur/asher de haute performance qui fournit des capacités de gravure et de traitement des cendres à la fine pointe de la technologie de contrôle des processus. Il offre des temps de cuisson rapides, une répétabilité et la capacité d'accueillir de grands substrats, ce qui en fait un excellent choix pour une variété d'applications avancées de recherche et de développement.
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