Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura 2000LL #293605212 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 est un graveur/asher plasma haute performance conçu pour un large éventail de processus dans la fabrication de plaquettes. GASONICS Aura 2000 arbore une technologie de plasme à vide (HV) qui permet une gravure et une cueillette ultra-rapides du substrat en fournissant une énergie ionique élevée et en nettoyant efficacement la chambre de process. Cet etcher peut traiter des tailles de substrat jusqu'à 12 "de diamètre et des températures de traitement jusqu'à 1000 ° C NOVELLUS Aura 2000 a une variété de caractéristiques qui en font un leader parmi les graveurs et les cendres. Sa technologie Plasma Ultra-Haute Densité exclusive permet des taux de gravure et de cendres efficaces, réduisant les temps de processus de jusqu'à vingt fois par rapport aux autres systèmes de gravure. Cela signifie que Aura 2000 peut gérer des processus complexes avec une large gamme de types de gravures, y compris la gravure ionique réactive (RIE) et la gravure à plasma sec. La vitesse de gravure ultra-rapide combinée à sa capacité à passiver chimiquement les plaquettes avant le dépôt permet à GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 d'offrir des performances cohérentes tout en réduisant les coûts de processus. La chambre à vide robuste et les systèmes de contrôle haute performance de GASONICS Aura 2000 permettent de réduire les frais généraux associés au maintien d'un environnement à très haute dépression. En outre, le système optique avancé permet à l'opérateur d'observer le processus en temps réel à l'aide des fenêtres de visualisation de passage, permettant un dépannage rapide et précis. NOVELLUS Aura 2000 utilise des recettes automatisées et flexibles pour assurer la répétabilité entre les différentes étapes de processus, lui permettant de rester cohérent tout en répétant les étapes de processus de wafer. Aura 2000 prétend avoir une précision de résolution supérieure à 4nm, ce qui lui permet d'apporter de la précision à vos processus de gravure et de cendres mettant en œuvre des nanolasers ainsi que l'amélioration conventionnelle et numérique de l'image. La gravure comprend également une étanchéité hermétique avancée qui permet des vitesses de processus et des rendements plus élevés en raison d'une oxydation et d'une contamination réduites. GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 est un graveur/asher plasma de pointe qui peut manipuler une variété de substrats de plaquettes de 12 "de diamètre. Il dispose d'une technologie plasma ultra haute densité propriétaire pour un traitement plus rapide, d'une chambre à vide robuste pour un entretien efficace, d'une optique avancée pour la surveillance en temps réel et de recettes automatisées et flexibles pour la répétabilité. Ses systèmes hermétiques de scellement et de contrôle haute performance permettent de réduire les frais généraux et sa précision de résolution est meilleure que 4nm. GASONICS Aura 2000 est garanti de fournir des processus de gravure et de cendres optimaux tout en réduisant les frais généraux.