Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura 2000LL #293605214 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 est un graveur/asher idéal pour graver et nettoyer les plaquettes semi-conductrices. Il est entièrement automatisé, avec des surcharges manuelles pour le travail diélectrique. Un écran tactile LCD est utilisé pour toutes les configurations, la programmation et le contrôle des processus. L'unité dispose de deux graveurs entièrement indépendants pour les processus simultanés, et de deux chambres de processus pour le traitement parallèle rapide. GASONICS Aura 2000 dispose d'une chambre de réacteur conçue pour accueillir jusqu'à quatre plaquettes de différentes tailles jusqu'à 200mm, ainsi que des échantillons avec des géométries spéciales. Il est équipé d'un puissant générateur inductif RF qui est piloté par une alimentation numérique à fréquence réglable, permettant un contrôle précis du processus de gravure plasma. L'inducteur est également capable d'entraíner soit une bobine simple, soit une bobine double fréquence qui peut être réglée en fonction des besoins du procédé. NOVELLUS Aura 2000 dispose également d'une poche ou d'un équipement de livraison de bateau de haute précision connu sous le nom de Multifunctional RF-Ready Beam Creel. Ce système de pointe est capable de fournir avec précision des produits chimiques et autres réactifs. Le creel est équipé de sondes RF pour un positionnement précis des plaquettes et une livraison précise de graveur. Aura 2000 dispose également d'une unité de distribution multi-gaz intégrée pour un contrôle précis du débit et des analyses rapides. Cette machine peut être entièrement automatisée pour des livraisons de gaz simples ou multiples, permettant un contrôle précis et une flexibilité de recette multimode. GASONICS/NOVELLUS Aura 2000 est entièrement compatible avec une gamme de procédés de gravure plasma standard de l'industrie, y compris le dépôt à base de soude, le dépôt par pulvérisation, la gravure ionique réactive, l'évacuation des gaz et la gravure par contamination. Sa conception avancée de la chambre de procédé assure une température de chambre précise et uniforme en tout temps, ce qui la rend idéale pour une large gamme de processus de gravure et de nettoyage. Enfin, GASONICS Aura 2000 dispose d'un certain nombre de fonctions de sécurité, comme un outil de contrôle numérique intégré et un verrou de sécurité, garantissant que seul le personnel autorisé peut accéder à l'unité. Cet atout dispose également de quatre niveaux de capacité d'arrêt d'urgence, permettant aux opérateurs d'intervenir rapidement et en toute sécurité en cas d'urgence. L'unité comprend également un modèle de diagnostic avancé qui peut générer des rapports détaillés et des alarmes en cas d'urgence ou de fonctionnement anormal.