Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura 2000LL #293658974 à vendre en France
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GASONICS/NOVELLUS Aura 2000LL est un graveur/asher conçu pour traiter un large éventail de matériaux, y compris le silicium, les métaux, les matériaux semi-conducteurs composés et les résistances photo. L'équipement a des capacités avancées de gravure en phase vapeur, permettant le traitement de haute performance des matériaux pour des applications microélectroniques, biomédicales et mécaniques. GASONICS Aura 2000LL etcher/asher utilise le gaz basse pression, fréquence RF pour graver avec précision les matériaux conducteurs et non conducteurs, tout en conservant une excellente uniformité et débit. Il utilise également des systèmes avancés de diagnostic et de contrôle des processus pour assurer la répétabilité des processus et maintenir l'exactitude tout au long du processus. La machine est adaptée aux besoins des utilisateurs professionnels et amateurs, avec des capacités de réglage automatique et manuel offrant un fonctionnement simple et facile pour les utilisateurs novices et expérimentés. La machine se compose de deux modules, la chambre de procédé et le système de distribution de gaz de gravure. La chambre principale est capable d'accepter des plaquettes jusqu'à 5 pouces de diamètre et dispose d'une plaque de diffusion entièrement évidée pour maximiser l'uniformité de gravure sur toute la surface. L'unité de distribution de gaz est équipée d'une fonction de contrôle de pression numérique, permettant une gravure précise à travers les réglages de débit de gaz. Les systèmes de contrôle intégrés permettent le contrôle complet et la visualisation de tous les paramètres de gravure, ce qui facilite les réglages et simplifie le processus d'obtention du meilleur résultat de gravure. Ceci est combiné avec une machine de détection intégrée à un seul point, qui surveille le processus de gravure en continu et produit une lecture indiquant l'avancement de la gravure. NOVELLUS AURA 2000 LL etcher/asher est un outil très précis, fiable et productif adapté à une large gamme d'applications de gravure. Ses fonctions supérieures de contrôle des processus fournissent une méthode simple et précise pour obtenir des résultats cohérents, tandis que ses interfaces utilisateur intuitives le rendent facile à utiliser. La machine est adaptée à toute application nécessitant une gravure de haute précision et son faible entretien et sa conception abordable en font un choix idéal pour toute taille de fonctionnement.
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