Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura 2000LL #293749487 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000LL est un système de graveur et asher avancé pour la production d'un rapport d'aspect élevé et de caractéristiques métalliques compliquées. C'est un équipement de précision qui peut produire une grande variété de micro-systèmes électromécaniques (MEMS) et de composants de circuits intégrés (IC). La machine a un procédé en deux étapes, avec la pré-gravure utilisée pour définir les couches et la post-gravure utilisée pour former les caractéristiques précises. La gravure primaire est basée sur un procédé de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et utilise une technologie exclusive de dépôt par laser modulé par impulsions et par couches minces (TFD) pour diriger la gravure dynamique. Le système TFD est utilisé pour façonner d'abord la couche à graver et pour la rugueuse pour promouvoir une meilleure adhérence et des résultats de gravure plus cohérents. Après cela, la post-gravure utilise un système de gravure ionique réactive (RIE) qui est spécifiquement conçu pour la gravure de haute précision, et dispose d'un profil extrêmement bas et de la précision de la hauteur des caractéristiques, dans la gamme de 0,1 μ m. GASONICS Aura 2000LL dispose de deux chambres différentes, dont une chambre de procédé pour la gravure et une deuxième chambre pour la post-gravure, ce qui permet à la machine de passer rapidement entre les fonctions gravure et post-gravure. Il est équipé d'une puissante source de plasma qui peut fournir un débit de gaz d'attaque jusqu'à 5 GPM (Gallons par Minute), qui peut être appliqué à un large éventail de matériaux, y compris l'aluminium tranchant, le cuivre, le silicium polycristallin, et d'autres matériaux. Pour une modélisation précise, NOVELLUS AURA 2000 LL est conçu avec une technologie avancée de contrôle de mouvement, qui peut déplacer le substrat rapidement et avec précision pendant les processus de gravure et de post-gravure. Il peut positionner le substrat avec une précision de niveau micron pour les coupes de gravure et de post-gravure, permettant des caractéristiques plus serrées que les systèmes de lithographie classiques. Aura 2000LL est livré avec une interface intuitive et facile à utiliser, permettant aux utilisateurs de configurer et de faire fonctionner la machine rapidement. Il dispose également de systèmes intégrés pour surveiller le processus de gravure, par exemple un scanner, qui est utilisé pour inspecter et vérifier les caractéristiques de gravure. GASONICS AURA 2000 LL est un excellent choix pour les processus de gravure et de cueillette avec une grande précision et un minimum de déchets. Il dispose d'une capacité de gravure puissante qui garantit la plus haute qualité et le meilleur débit temps pour les applications les plus critiques.