Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura 3010 #293752958 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS Aura 3010 est un outil de gravure sèche/asher utilisé dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Il s'agit d'un système monocouche monocouche capable d'utiliser des gaz de procédé pour graver sélectivement et graver anisotropiquement des structures à haut rapport d'aspect sur une plaquette semi-conductrice. GASONICS Aura 3010 est capable d'utiliser divers gaz de procédé dont Ar/CF4/CHF3, Ar/O2, Ar/H2/H2O et Ar/CF4/O2. Il dispose d'une Source Ultima™ pour la pulvérisation, capable d'utiliser à la fois la gravure ionique réactive (RIE) et la pulvérisation physique pour la gravure ou le dépôt de couches minces. Le générateur de motifs 2-D est utilisé pour créer des caractéristiques de rapport d'aspect élevé, et des fonctionnalités jusqu'à 50 nm de taille peuvent être créées avec l'outil. Il dispose également d'un moniteur 2-D global de visualisation/magnétron pour vérifier les caractéristiques des motifs et l'uniformité pendant le processus de gravure. La chambre de recuit pré-maigre de l'outil assure le recuit et le nettoyage de la chambre de réaction de gravure avant gravure. Il contient également un biais radiofréquence (RF) pour réduire la sélectivité des gravures et améliorer le profil des gravures. Le système de contrôle en temps réel permet à l'utilisateur de surveiller, modifier et optimiser les paramètres de gravure pour maximiser l'uniformité de gravure et minimiser les dommages de gravure. Les condensateurs de pression, de température et de cryo-refroidissement sont également intégrés pour assurer un contrôle précis et répétable de la température. Le système plasma intégré a une plage de régulation de température réglable de la plaquette de 10-100 ° C Il présente également une réponse fréquentielle qui permet une meilleure répartition des dépôts énergétiques sur la plaquette et une homogénéité plasmatique améliorée. De plus, l'outil a pour fonction de réduire la pulsation de puissance RF lors d'une gravure instable, ce qui améliore l'uniformité des processus. NOVELLUS Aura 3010 supprime la nécessité d'utiliser plusieurs systèmes de traitement pour graver des caractéristiques étanches et des rapports d'aspect élevés sur une plaquette semi-conductrice. C'est un excellent outil pour les processus semi-conducteurs les plus exigeants et fournit un traitement rapide, fiable et répétable avec une vitesse de gravure et une sélectivité élevées.