Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura 3010 #293767744 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS Aura 3010 est un graveur/asher qui est un outil compact conçu pour la précision et la vitesse dans la fabrication de semi-conducteurs. Il peut graver, asher, ou les deux sur une grande variété de substrats, y compris les métaux, les diélectriques et les polymères. Le graveur/asher est conçu pour contrôler et surveiller avec précision le processus de gravure, et GASONICS Aura 3010 un haut niveau avancé de contrôle et d'automatisation des processus en fait un choix idéal pour de nombreuses applications de gravure. NOVELLUS Aura 3010 utilise un large éventail de paramètres de processus qui peuvent être programmés pour contrôler précisément les résultats de gravure. Cela inclut le contrôle des paramètres du processus tels que la puissance du plasma, la pression et le temps de gravure. Une fonction auto-dwell permet un contrôle précis du processus de gravure, tandis qu'une interface utilisateur intuitive permet une configuration et un fonctionnement faciles. De plus, une grande taille de chambre permet de traiter de grands substrats. Aura 3010 est également conçu avec une capacité de traitement diélectrique Low-k, permettant au système de graver, asher et nettoyer les matériaux diélectriques Low-k. Cela comprend les métaux, les diélectriques et les polymères, ce qui permet au système de traiter une gamme de matériaux. Le graveur/asher est également équipé d'un système plasma à double impulsion unique qui peut graver différents substrats simultanément, assurant uniformité et répétabilité tout au long du processus de gravure. Les caractéristiques de sécurité figurent également dans la conception de GASONICS/NOVELLUS Aura 3010, y compris un capteur direct qui surveille la pression et la température afin de protéger les substrats et le personnel contre les dommages. De plus, l'ensemble du graveur/asher est entouré d'une coque métallique pour réduire le bruit et fournir un environnement contrôlé. GASONICS Aura 3010 est un graveur/asher puissant et efficace qui est spécialement conçu pour les applications semi-conductrices et connexes. Il dispose d'un haut niveau de contrôle et d'automatisation des processus pour permettre un traitement précis et reproductible, ainsi que d'une gamme de dispositifs de sécurité pour assurer la protection du personnel et des substrats en tout temps. Par conséquent, NOVELLUS Aura 3010 est bien adapté pour une utilisation dans toute application de gravure ou d'ashing.