Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura 3010 #9111883 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS Aura 3010 est un graveur/asher avancé conçu pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. Utilisant un jeu unique de matériaux avancés sous vide, chambre et processus, et une approche unique au nettoyage de surface in-situ, il fournit des capacités de réaction flexibles et efficaces qui atteignent par de multiples empilements de gravure/cendres. En outre, le système est livré avec une gamme intégrée de capteurs optiques, acoustiques et thermiques qui assurent l'exécution précise des recettes de processus et peuvent surveiller la présence de la chambre, les gradients thermiques et le temps d'exposition. Le résultat est un graveur/asher remarquablement puissant avec une grande variété de recettes de processus anda large gamme de temps de processus. GASONICS Aura 3010 dispose d'une chambre ultra-haute dépression qui offre un environnement propre et contrôlé pour le traitement des plaquettes. Développée grâce à une combinaison de technologie de vide haut de gamme et de matériaux avancés, cette chambre avancée offre un environnement de gravure/cendres à basse température et à faible contamination. En outre, sa structure de serrure de charge de processus monobloc maintient la chambre complètement isolée de la zone environnante, et réduit la contamination à un degré tel qu'elle assure des résultats de traitement cohérents de haute qualité. NOVELLUS Aura 3010 est également équipé d'une suite d'outils de procédé avancés, tels que fluxer graveur/cendres, et d'un contrôle de pale sans pale, sans purge, ultra-haute fiabilité, de gradient thermique qui assure une uniformité efficace des plaquettes. Son système optique avancé est également conçu pour réduire les taux de pulvérisation et maximiser l'uniformité des gravures. De plus, son contrôleur peut contrôler automatiquement le nettoyage in situ et le chargement des plaquettes afin de minimiser le temps d'exposition de l'opérateur. Enfin, Aura 3010 est capable d'une large gamme de recettes de procédé de gravure/cendres, y compris une gravure en une seule étape, une gravure en deux étapes, une gravure en deux étapes, une gravure mixte, une gravure en post-gravure/cendres, une gravure à passage rapide, une gravure de passivation et un remplissage de vide, entre autres. Cela lui permet de traiter différentes tailles, matériaux et épaisseurs de plaquettes. Sa gamme totale de temps de traitement est également peaufinée pour répondre aux demandes en constante évolution de l'industrie des semi-conducteurs. De ce fait, il est capable de fournir des temps de traitement ultra courts, un débit accru, une défectuosité réduite et d'excellents rendements.