Occasion GASONICS / NOVELLUS Aura #9238515 à vendre en France
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GASONICS/NOVELLUS Aura est un graveur/asher, généralement utilisé dans l'industrie de la production de semi-conducteurs. Il est capable de traiter des composants avec des caractéristiques aussi petites que 0.15 microns (150 nanomètres). La machine offre une qualité d'image, une fiabilité et une productivité exceptionnelles, ce qui en fait un choix idéal pour produire des produits sophistiqués avec des micro-motifs précis. L'unité de base du système GASONICS Aura est appelée un processeur PECVD, qui peut être équipé d'un maximum de deux chambres. A l'intérieur de chaque chambre, les composants traversent une cuve sous vide remplie de gaz, délivrant un mélange de gaz réactifs et une source RF élevée. La source RF génère le plasma nécessaire à la gravure (ou à la cueillette, pour les matériaux non silicium) sans dégrader le substrat et ses caractéristiques. Chaque chambre est équipée d'un étage mobile qui charge et décharge des plaquettes à travers la chambre de traitement des gravures. Le système NOVELLUS Aura dispose également d'une automatisation de conception avancée et d'un contrôle algorithmique sophistiqué pour garantir un processus fiable et reproductible. Le système a la capacité de régler les temps de gravure et les débits de gaz, et les niveaux de puissance de rampe, fournissant un haut degré de précision et un meilleur contrôle des taux de gravure livrés, uniformité, et d'autres paramètres. Aura est conçu pour des rendements élevés et à haut débit, ce qui en fait un excellent choix pour les environnements de production les plus exigeants. Son uniformité de gravure sur les plaquettes et les lots le rend idéal pour une large gamme d'applications, y compris la fabrication de dispositifs IC, MEMS, et les emballages semi-conducteurs avancés. GASONICS/NOVELLUS Aura est la solution idéale pour ceux qui ont besoin d'une gravure précise et répétable pour leurs tâches les plus difficiles. Sa conception sophistiquée automatisée et le contrôle algorithmique fournissent l'ultime en performance et fiabilité. Avec GASONICS Aura, les clients sont assurés de recevoir des composants de qualité avec des performances répétables et un excellent rapport coût/performance.
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