Occasion GASONICS / NOVELLUS Iridia #293659761 à vendre en France
Il semble que cet article a déjà été vendu. Consultez les produits similaires ci-dessous ou contactez-nous et notre équipe expérimentée le trouvera pour vous.
Appuyez sur pour zoomer
Vendu
ID: 293659761
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2005
Asher, 8"
Dual chamber
Gas supply:
Left and right chamber gas box:
Gas name / Range / Connection size
CF4 / 200 SCCM / 1/4" VAC Male
N2 / 500 SCCM / 1/4" VAC Male
O2 / 500 SCCM / 1/4" VAC Male
HE / 2 SLPM / 1/4" VAC Male
NF3 / 20 cc / 1/4" VAC Male
O2 / 50 SCCM / 1/4" VAC Male
Purge N2 / - / 1/4" VAC Male
Cassette unit:
Cluster PCM
YASKAWA XU-CM 4730 Robot controller
Chamber unit:
(2) Left and right PCM
(2) 95-3798 MISC Controllers
(2) 02-168304-00 Gas controllers
(2) 95-3154 M/W Controllers
(2) Lamp controllers
(2) EUROTHERM 818S Temperature controllers
(2) NIKON M680 Temperature controllers
(2) ENI ACG-6B RF Generators
(2) MKS MWH-5 RF Matchers
(2) MKS MWH-R RF Matcher boxes
(2) MKS 600 Series Pressure controllers
(2) MKS 638B-2-50-2 Pressure valves
Chambers:
(4) PCW QC6 Connectors
(2) VAC ISO 80
(2) CDA 3/8" SWG Male
Missing parts:
YASKAWA XU-RCM 4700 Robot
(2) ASTEX D13765 M/W Generators
Power supply:
208 V, 50/60 Hz, 150 A, 3 Phase, 5 Wires
2005 vintage.
GASONICS/NOVELLUS Iridia est un équipement avancé de gravure et de cueillette utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. C'est un système entièrement automatisé qui fournit un traitement de haute précision des photorésistances, des métaux et d'autres matériaux utilisés dans la production de puces semi-conductrices. L'unité intègre la dernière technologie de l'industrie pour la gravure plasma multi-modes et les processus CVD, qui permettent un traitement plus rapide des motifs complexes et des tolérances dimensionnelles plus serrées à tous les niveaux de développement des puces. GASONICS Iridia dispose d'un certain nombre d'innovations qui aident à maximiser les rendements des puces semi-conductrices et à augmenter le débit. Il utilise un procédé de gravure/cendres à source unique, incorporant des processus de gravure et de dépôt de clés dans une machine pour réduire les changements de configuration coûteux nécessaires pour le traitement en plusieurs étapes. Il dispose également d'outils de diagnostic in situ d'échantillonnage direct avec rétroaction numérique en temps réel pour un contrôle maximal du processus et une amélioration du temps de disponibilité de l'outil, plus la capacité d'équilibrage de la chambre de charge automatique et l'uniformité améliorée des plaquettes pour un contrôle plus fin des fonctionnalités. NOVELLUS Iridia offre plusieurs configurations de gravure pour optimiser la résolution et la sélectivité des fonctionnalités. Ses systèmes automatisés permettent l'optimisation des processus et des temps de montée en charge plus rapides pour les structures des appareils de raffinage, et son modèle de loadlock optionnel offre une introduction et un retrait rapides des substrats pour une stabilité et un débit accrus du processus. L'équipement permet également de personnaliser la configuration et le chargement du substrat, permettant aux utilisateurs de maximiser la flexibilité de production et d'adapter le système aux besoins individuels. Iridia est conçu pour une stabilité, un débit et une polyvalence optimaux, permettant aux fabricants de semi-conducteurs de repousser les limites des technologies à couches minces. L'unité fournit des capacités qui permettent le traitement de structures tridimensionnelles complexes et de géométries sub-microns dans les environnements semi-conducteurs les plus exigeants. Tout cela contribue à augmenter les rendements et à améliorer la stabilité du procédé, ce qui permet la production de copeaux de meilleure qualité dans des séries plus courtes.
Il n'y a pas encore de critiques