Occasion GASONICS / NOVELLUS L 3300 #9243661 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS L 3300 est un graveur entièrement automatisé conçu pour produire des caractéristiques exceptionnellement de haute qualité et précises dans les substrats. Cet etcher fournit un environnement plasma haute pression et haute densité capable de graver rapidement à travers un large éventail de matériaux. L'équipement intégré de détection des points d'extrémité assure des profils de gravure ultra précis, améliorant le rendement et la productivité. Le contrôle avancé et l'automatisation de cette unité permet d'assurer des résultats de processus reproductibles. Cela est accompli grâce à une variété de fonctionnalités telles que le contrôle serré des processus, le diagnostic en ligne, la gestion automatique des recettes, et une large gamme de recettes de plasma. En outre, ce système fournit une source de chaleur très efficace pour le chauffage et le refroidissement des substrats. Pour le chauffage, une lampe à quartz in situ est utilisée pour maintenir une température constante lors de la gravure, la chaleur étant uniformément répartie sur le substrat cible. GASONICS L 3300 utilise une source d'énergie à plasma pulsé (PPPS) pour générer un plasma précis et uniforme qui est adapté aux matériaux de différents types et épaisseurs. L'interface entre le PPPS et le substrat est conçue pour maximiser le rendement et le débit. Le PPPS fournit des formes d'onde réglables en largeur d'impulsion et des formes d'onde plasma auto-adaptatives pour optimiser le contrôle du processus. Les gaz in situ sont également gérés dans la chambre pour assurer une répétabilité optimale du processus. En particulier, l'etcher offre un contrôle dynamique du débit d'oxygène, de Ar/CF4/CHF3, de SiCl4 et de produits chimiques SF6. Le processus est contrôlé par une chambre étanche au vide avec une tête de douche en cuivre à arc réglable en hauteur et une tête de douche en fibre optique pour améliorer l'uniformité du processus. NOVELLUS L 3300 est capable de traiter des substrats jusqu'à 8 pouces (203 mm). Cela permet des délais d'exécution rapides, car les substrats peuvent être traités en peu de temps et ne nécessitent pas de passages ou d'étapes supplémentaires. L'etcher est facile à utiliser, avec une interface conviviale pour la génération facile de recettes, le fonctionnement de l'unité et la surveillance des processus. La machine dispose également d'un outil de diagnostic intégré qui permet d'assurer la répétabilité du processus. Dans l'ensemble, L 3300 est un outil de gravure fiable et de haute qualité conçu pour fournir des capacités de gravure précises et précises. Avec ses capacités de chauffage/refroidissement haute pression, plasma haute densité et haute efficacité, il est un choix idéal pour de nombreuses industries différentes. Sa flexibilité et ses fonctionnalités faciles à utiliser en font un excellent choix pour tous ceux qui ont besoin de graver avec précision les substrats rapidement et de façon fiable.