Occasion GASONICS / NOVELLUS L 3500 #9235158 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS L 3500 est un équipement de gravure/cendres haut de gamme conçu pour les processus de planarisation mécanique chimique (CMP). Il offre une haute performance, un contrôle simplifié de l'opérateur et une excellente uniformité de processus dans un système facile à utiliser. L'unité offre la plus grande répétabilité et fiabilité sur de longues périodes de fonctionnement et offre le meilleur contrôle de processus pour une large gamme d'applications de gravure/cueillette par voie humide et sèche. GASONICS L 3500 est équipé d'un bras robotique à deux axes qui fournit un mouvement précis et reproductible pour le positionnement des robots d'outillage. Le bras peut être utilisé pour aligner l'outillage sur la plate-forme. La machine utilise également des commandes adaptatives en temps réel à microprocesseur GASONICS pour garantir des performances de gravure/ashing les plus élevées. Il est combiné avec un contrôleur de bras robotique haute performance qui est capable de localiser et de positionner avec précision un seul robot ou plusieurs robots à n'importe quelle gamme d'angles et de vitesses jusqu'à 10 clichés par seconde (sps). Pour assurer des conditions de processus uniformes sur la surface de la plaquette, l'outil utilise un outil de désamorçage multi-zones qui permet d'ajuster spécifiquement les conditions de processus pour chaque zone dans les vues, permettant l'optimisation et l'alignement des processus. De plus, le modèle est équipé d'une fonction de dépoussiérage automatique, qui maintient automatiquement l'uniformité gravure/cendres en réinitialisant la plate-forme entre les gravures de plaquettes. Cela aide à réduire les erreurs dans chaque gravure, résultant en un profil de gravure uniforme à travers la plaquette. NOVELLUS L3500 est également conçu pour des performances cohérentes et un rendement de processus élevé. L'équipement combine des paramètres de contrôle multi-zones, de niveau de plaquette et de processus, et de surveillance d'alarme en temps réel. En outre, le système offre une vision robotisée intégrée pour l'outillage qui permet un haut débit, un alignement et une répétabilité de grande précision. Dans l'ensemble, NOVELLUS L 3500 est un graveur/asher avancé, fiable et performant pour les processus CMP. Il offre une grande précision et répétabilité pour une gravure/cendrage à haut rendement. L'unité est très configurable et polyvalente, et peut être ajustée pour un large éventail de processus et d'applications. Avec ses fonctionnalités et capacités avancées, cette machine est un choix idéal pour les applications CMP les plus difficiles.