Occasion GASONICS / NOVELLUS L 3500 #9235159 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS L 3500 est un graveur/asher avancé, conçu pour le dépôt rapide, à haut débit et précis de la couche atomique. Il est capable d'atteindre une précision de 3 à 5 nanomètres à des débits élevés. Le système est équipé d'une chambre de procédé à vide, d'une source de plasma RF de grande puissance et d'un dispositif d'inspection in situ des plaquettes. La chambre de procédé à vide fournit un environnement à vide ultra-élevé pour le traitement des substrats. Il est équipé d'un système de distribution de gaz qui permet un contrôle précis de l'atmosphère du procédé, permettant de graver ou de soutirer toute une gamme de matériaux. La chambre de procédé comprend également un pompage actif pour maintenir un niveau de vide de 10-6 Torr. La source de plasma RF est capable de générer des plasmas à très haute puissance à des niveaux de puissance variables. Ceci permet de graver ou de soutirer un large éventail de matériaux, des métaux aux diélectriques. Le système comprend également un contrôle de précision de la puissance et de la fréquence du plasma, permettant à l'opérateur d'adapter le procédé à l'application souhaitée. Le dispositif d'inspection in situ des plaquettes permet une inspection en temps réel de la surface gravée ou cendrée. Cela garantit des résultats cohérents sur des substrats de tailles et de matériaux différents. L'appareil comprend une variété de capteurs pour mesurer des paramètres tels que la température, la pression, et GASONICS L 3500 comprend également un logiciel pour la manipulation et la gestion de recettes et de paramètres pour assurer des résultats de processus cohérents. Dans l'ensemble, NOVELLUS L3500 est un graveur/asher puissant, précis et à haut débit qui est idéal pour une variété de processus de dépôt et de gravure. Il est très fiable, facile à utiliser et est conçu pour traiter une gamme de matériaux avec une grande précision et un débit élevé.