Occasion GASONICS / NOVELLUS L 3510 #293586002 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS L 3510 est un graveur ou asher à couplage inductif (ICP) omnidirectionnel avancé de haute précision. Il s'agit d'un outil de gravure sèche de grande surface spécialement conçu pour fournir des performances supérieures dans la gravure sélective et omnidirectionnelle de substrats en divers matériaux. Il est également utilisé dans le traitement d'un large éventail de matériaux et de films dont le silicium, l'antimonide de gallium et le phosphure d'indium. GASONICS L 3510 est considéré comme l'un des graveurs les plus rapides de sa catégorie. Il utilise un plasma à couplage inductif généré par un générateur de radiofréquence (RF). Cela permet une gravure efficace et uniforme sur l'ensemble de la plaquette. L'outil est doté d'un capot de brouillard de gaz unique qui répartit uniformément le gaz de gravure sur toute la surface des substrats de la plaquette. De plus, NOVELLUS L 3510 utilise un sous-ensemble d'ions hybrides qui dirige simultanément un faisceau d'ions et un plasma à base d'argon sur la surface de la plaquette pour une gravure très flexible. L 3510 est équipé de processus avancés et de systèmes informatiques pour surveiller et contrôler le processus de gravure en temps réel. Le panneau de commande principal dispose à la fois d'une interface utilisateur avant et d'un système arrière. L'interface utilisateur frontale utilise la technologie de l'interface utilisateur graphique (UI) pour afficher divers paramètres de processus et permettre à l'utilisateur d'ajuster les paramètres. Le système back-end mesure et enregistre à plusieurs reprises les données de processus critiques pour optimiser les recettes et assurer un processus de gravure hautement reproductible et cohérent. GASONICS/NOVELLUS L 3510 dispose de multiples sources ICP et d'un système intégré de chargement de cassettes pour le traitement rapide des plaquettes. De plus, l'outil peut être automatisé pour des applications de production en ligne. Un concentrateur de données indépendant peut transmettre toutes les données de traitement à un ordinateur hôte pour la surveillance et le fonctionnement à distance. Cela permet un meilleur contrôle des processus et une plus grande flexibilité, ainsi qu'une meilleure efficacité de fonctionnement. GASONICS L 3510 est un graveur polyvalent, avancé et asher qui offre d'excellentes capacités de gravure sélective et de fixation au niveau des plaquettes. Conçu pour offrir des performances supérieures, cet outil permet aux utilisateurs d'atteindre une grande uniformité de gravure et une taille extrêmement petite. En tant que tel, il est un outil idéal pour la fabrication dans les industries des semi-conducteurs, des cellules solaires et des écrans plats.