Occasion GASONICS / NOVELLUS L 3510 #293595737 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS L 3510 etcher/asher est un équipement de gravure à sec avancé et à haut débit, avec un meilleur contrôle des processus et une productivité accrue. Le système a été conçu pour un large éventail d'applications, telles que le silicium, le nitrure, les métaux et les matériaux organiques. La fiabilité de l'unité GASONICS L 3510 repose sur l'expérience et les technologies complètes de GASONICS et NOVELLUS. NOVELLUS L 3510 graveur/asher s'appuie sur des technologies de gravure éprouvées, y compris une source de plasma inductif couplé (ICP) et un laser excimère (UV profond), pour graver et nettoyer les substrats. Il dispose d'une chambre de procédé qui offre une flexibilité suffisante pour graver différents matériaux et dispose d'une machine à vide intégrée qui crée un environnement à vide ultra-élevé. L'graveur-asher est capable de graver à travers des couches minces de matériaux, tels que du silicium ou du nitrure, avec un débit élevé. Le moniteur in-situ capacitance-voltage (CV) permet de contrôler le processus en temps réel pour assurer une gravure uniforme. En outre, l'outil avancé de régulation de la température et de distribution de gaz de la plateforme permet une répartition précise de la température et du gaz. L 3510 etcher/asher est supporté par une suite de logiciels, permettant aux utilisateurs de sélectionner et d'optimiser les recettes rapidement, fournissant une expérience utilisateur améliorée. L'utilisateur peut créer des recettes et modifier les paramètres en fonction des exigences de l'application. L'interface utilisateur graphique (interface graphique) est conviviale et permet une opération intuitive. GASONICS/NOVELLUS L 3510 etcher/asher est une excellente plate-forme pour une variété d'applications dans l'électronique, la photonique et l'industrie des semi-conducteurs. Il dispose d'un contrôle PLC qui fournit une grande précision et répétabilité des processus, et les systèmes Dielectric Constant Monitor (DFM) et Vacuum Monitor (VTM) offrent d'excellentes capacités de contrôle et de surveillance des processus. L'actif est bien adapté à diverses applications de nettoyage et de gravure des plaquettes, telles que l'élimination de l'oxyde cultivé thermiquement et la gravure peu profonde des métaux. Le modèle offre également une faible contamination lors de la gravure, ce qui est bénéfique pour les matériaux sensibles tels que l'aluminium ou l'argent. Grâce à sa conception modulaire, l'équipement peut être facilement mis à niveau et modifié pour répondre aux besoins changeants des clients.