Occasion GASONICS / NOVELLUS L 3510 #293658983 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS L 3510 est un équipement de graveur/asher avancé qui est bien adapté à la production de dispositifs semi-conducteurs avancés. Ce système dispose d'une chambre de gravure et de cueillette de plasma avec contrôle chimique indépendant. En outre, il peut être automatisé pour améliorer le contrôle et le débit des processus. Le contrôle chimique de cette unité est piloté par GASONICS breveté Plasma Enhanced Direct Current (DC) machine de contrôle chimique. Cet outil assure un contrôle précis du processus de gravure et de cueillette, tout en minimisant la variabilité et en améliorant les rendements. Il permet également à l'utilisateur de sélectionner la chimie de gravure pour un large éventail de procédés, tels que la gravure de l'aluminium, de l'étain et du cuivre. GASONICS L 3510 peut être configuré avec différentes chambres telles qu'un module de préchauffage de substrat, un pulvérisateur et un asher plasma. L'unité de base dispose également d'une porte avant conçue pour les opérations plasma à distance. Cet actif comprend également des composants automatisés de manutention des plaquettes qui comprennent un module motorisé de prévention des embouteillages des plaquettes et un verrouillage de charge optionnel (non inclus). Le modèle supporte un large éventail de procédés de gravure et de cendrage, notamment l'aluminium, le cuivre, l'étain, le tungstène, le polyimide, la céramique, le nitrure de silicium et les produits organiques. Sa vitesse de traitement élevée, jusqu'à 200 wafers par heure, est idéale pour les besoins de production à haut volume. De plus, cet équipement offre une gamme de caractéristiques environnementales et de sécurité, telles que la filtration avancée et les arrêts automatisés d'incendie et de surpression, contribuant à assurer un fonctionnement sûr et productif. En conclusion, NOVELLUS L3510 etcher/asher est un système puissant et fiable parfait pour la production de dispositifs semi-conducteurs avancés. Il offre un contrôle chimique précis et un débit élevé, ainsi qu'une gamme de fonctionnalités conçues pour maintenir l'environnement du processus sûr et reproductible.