Occasion GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9144778 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS L 3510 Asher est un équipement automatisé de gravure et de fabrication de semi-conducteurs asher haut de gamme conçu pour des applications de production de moyen à haut débit. Le système est conçu pour modeler des couches de photorésist et d'autres couches de films secs en circuit haute densité sur des substrats semi-conducteurs. Il est capable de graver des caractéristiques jusqu'à 0,20 µm, avec une grande précision et uniformité. L'unité comprend deux chambres de processus de conception modulaire, permettant une uniformité maximale du plénum et de la température. Munies de l'allumage plasma de pointe, les chambres peuvent être adaptées aux besoins spécifiques des clients. Des gaz de gravure spéciaux peuvent être introduits par la machine Mixte-Gaz Source (MGS), permettant des procédés multi-étapes avec gravure ultra-fine. Le contrôle de température est réalisé dans les chambres de procédés avec un contrôle de précision compris entre 25 et 400 ° C L'outil est livré avec un atout de transfert à grande vitesse et est intégré à GASONICS propriétaire « Modules de traitement flexibles », permettant à l'utilisateur de choisir le processus le plus approprié pour leur application. Il intègre également un gestionnaire de substrat motorisé, ce qui permet un chargement et un déchargement aisés des substrats. Pour maximiser la productivité et protéger les substrats de la contamination, GASONICS L 3510 dispose d'un modèle sophistiqué de manutention automatisée des substrats, avec intégration en option de gaz inerte pour la protection des matériaux sensibles. L'équipement est livré avec une gamme complète de fonctions de contrôle de processus, telles que la détection automatique des défauts, la détection du point final, la surveillance des paramètres de processus, et les capacités d'optimisation des processus. Il dispose également de capacités de diagnostic intégrées pour la stabilité du processus efficace et le contrôle de la qualité. Le système est compatible avec une large gamme de tailles de plaquettes, jusqu'à 12 pouces. Il supporte également jusqu'à 20 substrats par lot, ce qui permet une production efficace. Dans l'ensemble, NOVELLUS L 3510 est un graveur haute performance et asher capable de produire des caractéristiques gravées de résolution fine avec une excellente uniformité et débit. Sa conception modulaire et ses fonctions avancées de contrôle des processus en font un choix idéal pour les applications de production de moyen à haut débit.