Occasion GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9244581 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS L 3510 etcher/asher est un outil performant et économique conçu pour répondre aux besoins de gravure/ashing des fabricants de technologies de pointe. Développé en partenariat avec GASONICS Systems et NOVELLUS, le 3510 combine des technologies de gravure et de cendrage avancées dans une plate-forme unique - permettant un traitement à haut débit et fiable même des dispositifs semi-conducteurs les plus avancés et les plus sophistiqués. Le 3510 intègre une technologie avancée de gravure RF qui offre une gravure précise et uniforme. Le procédé est encore amélioré par le réglage pas à pas du biais de gravure, permettant des gravures inférieures à 1 nanomètre avec précision et répétabilité de 0,5 nanomètre. En outre, le 3510 peut traiter des plaquettes de dimensions comprises entre 50 et 300 mm, et offre une capacité de processus jusqu'à 12,7 pouces ou 320 millimètres. Le 3510 offre également un procédé d'ashing qui élimine les résidus de procédé des surfaces semi-conductrices, éliminant le besoin d'agents chimiques dangereux. L'unité utilise des procédés plasmatiques thermiquement améliorés pour la gravure et le cendrage profonds et ciblés. Le processus est facilement contrôlé grâce à l'utilisation d'une interface interface graphique intuitive, permettant des calculs simples d'établissement et de déroulement. L'unité dispose également d'un système avancé de distribution de gaz qui assure un contrôle supérieur du gaz et une livraison uniforme de produits chimiques nocifs, ainsi que d'un injecteur chimique qui permet un cycle automatisé pour l'inclusion d'additifs propriétaires. En outre, le 3510 est livré avec un système de vide général, avec un collecteur de distribution de gaz configurable et un système de pompage fiable. GASONICS L 3510 etcher/asher est hautement automatisé avec un contrôle convivial, ce qui en fait un outil idéal pour les opérations de gravure et de cendrage. L'unité est disponible en configuration simple et trois chambres, et est livré avec une large gamme d'options et de configurations - le rendant adapté à une variété d'applications de fabrication de semi-conducteurs. Avec son design innovant, ses performances exceptionnelles et sa fiabilité, le 3510 est un outil idéal pour la fabrication de semi-conducteurs de pointe.