Occasion GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9259241 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS L 3510 est un graveur/asher de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) à haute performance conçu pour des applications d'isolation de tranchées peu profondes (STI). Il présente une meilleure uniformité de dépôt aux dimensions du sous-quart de micron et fournit à la fois des taux de gravure élevés et une faible défectivité. GASONICS L 3510 est un outil à chambre unique avec un mandrin rotatif pour le traitement des plaquettes semi-conductrices et dispose d'un design avancé de chambre à ultra-haut vide (UHV). NOVELLUS L 3510 est équipé de sources RF à fréquence variable, de deux plasmajets indépendants, d'un système de chargement multi-sondes configurable (MPLS) et d'un interféromètre laser interne à grande vitesse pour le contrôle de position spatiale et le réglage précis. Le contrôleur hautement automatisé de L 3510 fournit un débit de gaz précis et un contrôle de température et offre des capacités de diagnostic de processus complètes pour assurer un traitement efficace des plaquettes. GASONICS/NOVELLUS L 3510 a la capacité de fournir avec précision des gaz de traitement au substrat, et sa précision améliorée et son contrôle de position lui permettent de fonctionner à des plages de pression et de température plus basses. La conception de la chambre permet de traiter jusqu'à 200 mm de plaquettes avec des variations aussi faibles que 500 angströms dans la taille des caractéristiques et 0,25 nm uniformité sur toute la surface du substrat pour les dispositifs de grande surface. GASONICS L 3510 offre plusieurs fonctionnalités qui offrent la plus grande sélectivité de gravure et des performances améliorées. Il dispose d'une source de bande latérale parallèle, d'une source de bande inférieure améliorée et d'une source satellite améliorée. Cela permet une meilleure répétabilité et un débit plus élevé. Un ordinateur de cycle sophistiqué avec une interface utilisateur graphique (UI) fournit la commodité ultime et le soutien pour la création et la gestion de recettes. Dans l'ensemble, NOVELLUS L 3510 est un graveur/asher avancé qui fournit un haut niveau de performance et de précision. Il est capable de déposer des films sur des substrats à très haut débit et à faible défectivité et est idéal pour les applications à base de STI. C'est un moyen efficace d'augmenter la précision et le débit tout en maintenant le plus haut rendement et la meilleure qualité de film.