Occasion GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9270101 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS L 3510 est un graveur/asher polyvalent avancé pour les applications MEMS, Semiconductor et Photovoltaïque. Il est capable de traiter jusqu'à 28 plaquettes par système et jusqu'à 35 plaquettes par cassette, y compris des tailles de plaquettes de 200mm et 150mm. GASONICS L 3510 bénéficie d'excellentes capacités de traitement parallèle, où de nombreuses plaquettes sont gravées et cendrées en même temps. Il utilise également des procédés impulsionnels intelligents et des techniques de gravure sélective pour produire des structures 3D à haute résolution. NOVELLUS L 3510 offre un temps de disponibilité de plus de 99 %, associé à des performances de processus humides exceptionnelles, qui est obtenu grâce à des algorithmes de vitesse et d'accélération de haute précision. En outre, tous les processus peuvent être suivis, analysés et rapportés en détail et tous les paramètres sont ajustables avec précision pour obtenir un éventail de résultats souhaités. L 3510 est conçu pour fournir des capacités de refroidissement améliorées et la capacité de traiter avec des sources à haute puissance et à faible puissance telles que CL2, O2, SF6, Ar, He et toute combinaison de gaz. Il offre une option vraiment polyvalente pour tous les types d'applications de gravure et de cendrage, y compris l'oxyde de dos, le retrait d'oxyde, la tranchée, la gravure ionique réactive profonde, la gravure sèche et la gravure de contrôle de profondeur. La fonction de traitement programmable de bout en bout de GASONICS/NOVELLUS L 3510 permet de définir et d'ajuster une gamme complète de paramètres, offrant ainsi une flexibilité pour un traitement précis. Sa source d'énergie peut être utilisée pour la gravure et la cueillette de divers matériaux dont la silice, le silicium, le tungstène et divers métaux. GASONICS L 3510 peut manipuler des plaquettes de 170mm à 300mm. Sa cavité avancée et ses processus plasmatiques durables, ainsi que son générateur RF programmable, font de ce système polyvalent un choix idéal pour de nombreuses applications de gravure et d'ashing. Le processus d'usinage reste cohérent et précis dans le temps et son espace intérieur est conçu pour améliorer le processus de maintenance. NOVELLUS L 3510 utilise GASONICS Software Toolbox innovant, qui offre un contrôle en temps réel haute performance et offre une visibilité complète du processus avec la surveillance des entrées/sorties. La boîte à outils logicielle permet également aux utilisateurs de personnaliser facilement les paramètres de processus en les configurant pour de multiples processus, permettant une production efficace et des normes de qualité améliorées. Dans l'ensemble, L 3510 est un appareil polyvalent innovant et puissant pour diverses applications de gravure et de cendrage. Ses fonctionnalités avancées et ses algorithmes de vitesse et d'accélération de haute précision en font un choix rapide et fiable pour les besoins de gravure et d'ashing. Avec un design robuste et durable, GASONICS/NOVELLUS L 3510 est un choix idéal pour diverses industries et applications.