Occasion GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9271641 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS L 3510 asher est un graveur avancé à base de plasma utilisé dans les procédés avancés de fabrication IC. Cet graveur avancé est capable de graver une variété de couches de matériaux dont le silicium, les métaux et les diélectriques. Il est alimenté par un FlexEtch Advanced Etcher, qui offre une gravure de précision à des vitesses incroyablement élevées en fournissant un plasma ultra-basse température. Avec GASONICS L 3510 asher, les utilisateurs obtiennent plus que la simple capacité de gravure, mais aussi des outils avancés de contrôle, de surveillance et d'analyse des processus. NOVELLUS L 3510 asher consiste en une buse de substrat robotique et une source de plasma d'oxygène sous pression à chaud et aide à optimiser le processus de gravure avec sa capacité à graver chaque couche de matériau avec une vitesse de gravure idéale. Son contrôle avancé des processus aide à maintenir l'uniformité des gravures, élimine l'ombre et offre une compensation des déplacements réduisant le besoin de nettoyage et de séchage post-processus. Son poste de travail avancé est équipé d'un contrôleur adaptable qui peut être reconfiguré à une gamme de paramètres de processus et est équipé de fonctions avancées de surveillance et d'optimisation des processus. Un équipement de visualisation avancé est également inclus qui permet aux utilisateurs de surveiller le processus de gravure in situ. L 3510 asher comprend également une base de données matérielle intégrée, une base de données de processus avancée et un système de gestion des recettes qui facilite le retournement rapide des processus. La base de données est chargée de mesures de gravure critiques et de recettes à partir desquelles les utilisateurs peuvent sélectionner et analyser leurs recettes de traitement, leur permettant d'optimiser leurs résultats de caractérisation d'appareil et de production pilote. En outre, la base de données est livrée avec une base de données embarquée qui permet de la mettre à niveau facilement pour les futurs processus et applications. GASONICS/NOVELLUS L 3510 asher est conçu pour la sécurité et offre des fonctionnalités de sécurité standard comme une unité Interlock, le contrôle des émissions à distance, la surveillance hors processus et une séquence de purge automatique. La machine de protection comprend également un capteur de nettoyage de la chambre à vide, un moniteur d'émission et un contrôle d'arrêt d'urgence. En outre, l'unité dispose d'une architecture logicielle et d'outils de pointe pour maintenir la sécurité des opérations et la conformité environnementale en aval. GASONICS L 3510 asher est un effet de coût, solution de procédé fiable et se distingue dans l'industrie des semi-conducteurs, fournissant une solution de gravure complète avec un rendement et une qualité de produit optimaux.