Occasion GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9292697 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS L 3510 etcher/asher est un équipement à moyenne échelle de plasma sec qui permet aux utilisateurs de graver simultanément et asher wafers, créant des résultats efficaces et précis. Cet outil offre un procédé de gravure basse pression et basse énergie, qui élimine le besoin de produits chimiques humides, les étapes coûteuses de processus, et les déchets dangereux. Il est également facile à mettre en œuvre et à configurer pour une utilisation dans les lignes de production manuelle et automatisée. La chambre de gravure du système est construite en alliage d'aluminium très résistant et en acier inoxydable et utilise un générateur RF optimisé de 15 kW pour fournir une puissance de pointe. La pression de la chambre est maintenue dans un environnement sous vide, permettant une gravure plasma réactive et réduisant le risque de contamination des particules. L'unité est également capable de processus de gravure descendante ou ascendante pour une précision accrue, avec la capacité de contrôler l'ampleur et la direction de la gravure. De plus, l'alimentation linéaire à courant moyen produit une tension constante, en maintenant une gravure uniforme dans toute la plaquette et en supprimant les cycles de puissance de compensation. GASONICS L 3510 offre également une large gamme de fonctionnalités, y compris un ascenseur photomasque qui lève automatiquement un photomasque pour protéger les surfaces délicates, une surveillance à distance pour suivre la production, et des diagnostics intégrés de machine pour dépanner tout problème potentiel. De plus, la chambre de procédé permet une gravure à haut débit et à grande surface sans limite de couverture. Il permet également de minimiser les variations de processus et l'uniformité, quel que soit le type de matériau ou la conception. Enfin, NOVELLUS L 3510 etcher/asher dispose d'une interface utilisateur graphique conviviale qui permet un fonctionnement et une optimisation faciles, fournit une rétroaction en temps réel, et permet de futures mises à niveau et maintenance. L'outil est également conçu pour une utilisation dans une variété d'industries, y compris la microélectronique, bio-MEMS, et LED, ce qui en fait un outil polyvalent et efficace pour les besoins de gravure et d'ashing.