Occasion GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299007 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS L 3510 Etcher/Asher est un équipement de gravure et de dépôt de précision pour le traitement avancé de circuits électroniques à haute résolution. Le système se compose d'un ensemble de quatre sections : Process Tool, Micro-Fabrication, Plasma Asher et Etcher. Toutes les sections sont contrôlées par GASONICS L In-line Process Controller (IPC) en mode automatisé. L'outil de procédé est utilisé pour contrôler l'ensemble de l'unité, y compris les durées de processus, les températures, la pression et les vitesses. Il permet également deux technologies de gravure différentes, selon l'application sur la plaquette. La première technologie est la gravure humide, et la seconde est la gravure sèche. La technologie de gravure humide est utilisée dans le dépôt de métaux sur la plaquette. Elle présente l'avantage d'être capable de réaliser des structures gravées à haute résolution et à haute annulation. La section Micro-Fabrication de la machine est utilisée pour façonner les composants semi-conducteurs. Il utilise un procédé spécialisé de « micro-fabrication » qui permet à l'opérateur de façonner ou de graver les composants de la plaquette de manière très précise. La section Plasma Asher est utilisée pour « nettoyer » la plaquette avant tout processus de gravure. Il utilise un procédé connu sous le nom de « Plasma Ashing », qui consiste à exposer la plaquette au plasma pour éliminer les contaminants organiques et les résidus d'oxyde métallique. Le Plasma Asher permet également le nettoyage post-gravure. La section Etcher est le cœur de l'outil. Il est capable de produire des structures fines à haute résolution avec une excellente définition des parois latérales sur la plaquette. Il soutient les procédés de gravure tels que la gravure par ions réactifs profonds (DRIE), le dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD) et la gravure par ions réactifs (RIE). En outre, l'etcher est conçu pour gérer les recettes de processus les plus exigeantes, avec l'utilisation de capacités avancées de reconnaissance de motifs et la projection tridimensionnelle des données de production. GASONICS L 3510 Etcher/Asher est très configurable, permettant aux utilisateurs de personnaliser le modèle en fonction de leurs besoins de production spécifiques. Il dispose d'une interface conviviale qui permet à l'opérateur de régler et d'ajuster rapidement les paramètres de l'équipement. Ses performances avancées, combinées à la technologie de gravure précise et de nettoyage sophistiqué, font de NOVELLUS L 3510 Etcher/Asher un système de gravure et de dépôt très efficace et puissant.