Occasion GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299008 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS L 3510 etcher/asher est un outil puissant et performant conçu pour des étapes de processus à haut volume et à haut débit. L'équipement utilise une technologie de gravure avancée pour offrir des performances et une précision supérieures. Son système breveté de distribution de gaz et ses filtres à haut rendement garantissent des conditions de processus optimales, tandis que son logiciel sophistiqué et son support en plusieurs langues garantissent un contrôle et une flexibilité extrêmes dans un environnement de production. L'unité comprend un module de distribution multi-gaz, comprenant une purge Air/Azote, une interface vide et quatre conduites de distribution de gaz pour la livraison des procédés. La machine dispose également d'un processus breveté de dilution Mix Boost pour un meilleur contrôle de l'immersion, d'un algorithme breveté de renouvellement automatique pour réduire les temps d'arrêt, ainsi que d'un flux d'ions avancé pour le contrôle des contaminants. En outre, sa conception modulaire facilite l'intégration dans les lignes de processus existantes, avec un module RF optionnel pour fonctionner dans des applications kV ultra-basses. GASONICS L 3510 etcher offre un mélange précis de gaz et un outil breveté de purge air-gaz qui surveille et compense les dépôts de gaz tout en minimisant la contamination des particules. Ses outils de configuration avancés supportent les paramètres de processus, y compris la vitesse, la sélectivité, l'orientation et la profondeur de gravure, et l'instrumentation est fournie pour le contrôle des processus et la collecte de données. La plateforme prend également en charge un large éventail d'applications spécialisées, avec la possibilité de configurer et de contrôler plusieurs solutions de gaz de trempe, y compris la gravure réactive, l'évacuation des gaz et le nettoyage du plasma. NOVELLUS L 3510 est compatible avec les processus de gravure existants, et son architecture modulaire assure une intégration facile dans les lignes de production existantes. Une large gamme d'interfaces est prise en charge, et une suite logicielle open-platform offre des solutions d'automatisation à faible coût pour une précision et une rapidité de processus encore plus grandes. Construit pour durer, L 3510 est soutenu par une garantie matérielle et logicielle de trois ans. Toutes ces fonctionnalités se combinent pour faire de GASONICS/NOVELLUS L 3510 etcher/asher une solution idéale pour un traitement à haut débit et à haut volume.