Occasion GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299009 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS L 3510 est un équipement sophistiqué de gravure et de cendrage conçu pour gérer le traitement des plaquettes avec une précision, un contrôle et un débit avancés. Il dispose d'une architecture à trois étages qui permet des opérations de gravure et de cendrage avancées avec une sélectivité faible à modérée. GASONICS L 3510 est idéal pour la gravure et le dépôt de cendres jusqu'à 0,45 micron d'épaisseur. Le système est équipé d'une console de commande avancée pour le fonctionnement précis et la surveillance du processus de gravure/cueillette. Il utilise des données de processus en temps réel pour assurer la plus haute performance possible. Cette console tactile est conviviale et fournit une interface facile à utiliser pour aider à la programmation des tâches. L'unité dispose d'une machine brevetée à quatre quadrants de distribution de gaz qui permet une gravure et une cendre précises sur de larges surfaces. Cet outil utilise deux ports ; une alimentation basse pression, une alimentation haute pression. Le débit tend à rester régulier et uniforme dans les deux sens et la pression de fond peut être ajustée en conséquence. En outre, l'actif dispose d'une unité de traitement thermique rapide intégrée qui permet le recuit thermique rapide d'un certain nombre de matériaux. Ceci est particulièrement utile pour le traitement de plaquettes avec des conceptions étagées différentes. L'unité RTP fonctionne en mode impulsionnel et thermique constant pour assurer un contrôle précis de la température. NOVELLUS L 3510 dispose également d'un mécanisme de vide intégré qui utilise un modèle de vide multi-étages qui assure une excellente manipulation des plaquettes et le contrôle des processus. Il s'agit d'une source de vide, d'une vanne et d'un contrôleur de contrôle précis de la pression de vide. Enfin, l'équipement dispose d'un capteur de balayage assisté par laser qui est utilisé pour un alignement et un déplacement précis de la plaquette. Cela permet de déplacer la plaquette facilement et rapidement d'un endroit de gravure à l'autre. Le capteur de balayage assisté par laser permet également un réglage précis de l'angle de gravure et de cendrage pour des performances de gravure et de cendrage optimales.