Occasion GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299011 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS L 3510 est un équipement avancé de graveur/asher conçu pour fournir des solutions de gravure de haute qualité pour une variété d'applications. Il est doté d'un système de distribution de gaz/liquide de pointe spécialement conçu pour permettre l'utilisation d'un large éventail de produits chimiques et de gaz. L'unité peut être configurée pour délivrer des flux de liquide ou de gaz contrôlés avec précision à différentes pressions et températures. GASONICS L 3510 peut traiter des plaquettes semi-conductrices jusqu'à 200 mm de diamètre. Il comprend une cassette de plaquette unique et plusieurs modules de transport pour déplacer la plaquette de l'intérieur à l'extérieur de la chambre de processus. La machine utilise une source de plasma contrôlée par Ponderomotor pour graver un matériau sans défaut avec une grande sélectivité. Cette source de plasma peut être accordée à plusieurs fréquences différentes pour graver différents types de matériaux. L'outil est également équipé de plusieurs autres fonctionnalités avancées, telles qu'un générateur RF de grande puissance, un contrôle de la température de plusieurs zones indépendantes, une mesure en temps réel de la planéité des plaquettes, une source d'ions vectoriels avancée et une source de plasma intégrée. Il est également livré avec un logiciel puissant qui permet aux utilisateurs de surveiller et de modifier facilement des paramètres tels que la puissance, la température, les gaz et les produits chimiques pendant les processus de gravure. Pour garantir des performances de gravure supérieures, l'actif est conçu avec plusieurs caractéristiques de sécurité, telles que les capacités d'ouverture/fermeture d'urgence, la surpression et la protection contre les collisions, une soupape de sécurité à pression variable et l'arrêt de gaz d'urgence. NOVELLUS L 3510 peut graver rapidement et précisément divers matériaux, y compris des diélectriques, des métaux et des polymères. Ses capacités de gravure de haute précision peuvent aider à maximiser les performances des dispositifs semi-conducteurs et à améliorer les rendements de production. C'est une solution de gravure fiable et sophistiquée pour des opérations de haute précision.