Occasion GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299012 à vendre en France

GASONICS / NOVELLUS L 3510
ID: 9299012
Taille de la plaquette: 6"
Asher, 6".
GASONICS/NOVELLUS L 3510 est un graveur à plasma conçu pour graver avec précision et efficacité des matériaux tels que les métaux, les alliages de métaux, le SiO2, le TiO2 et le SiN. Il a une conception RF très fiable avec des algorithmes avancés de contrôle des processus grâce à son architecture ouverte. Cela lui permet de permettre des procédés qui nécessitent un haut degré de précision et de flexibilité. GASONICS L 3510 offre des capacités de pointe de contrôle des processus de gravure et de métrologie. NOVELLUS L 3510 utilise la fréquence radio haute fréquence et basse fréquence pour suivre une plaquette à motifs pour créer ou modifier précisément sa surface. Il est également équipé d'un analyseur de mobilité différentielle avancé qui est utilisé pour mesurer la distribution d'énergie électronique des ions de gravure au cours du processus de gravure et ajuster le plasma pour obtenir un résultat souhaité. Ceci permet de s'assurer que le plasma ne grave pas la plaquette trop profondément ou trop mince, ce qui pourrait endommager ou dégrader le dispositif ou le substrat en cours de gravure. L 3510 est équipé d'une chambre capable de fonctionner en mode In-situ et ex-situ. Les procédés in situ sont généralement utilisés dans la fabrication de pièces très précises où la chambre de procédé peut être utilisée pour apporter des modifications au dispositif pendant son traitement. Dans les procédés ex-situ, la chambre est utilisée pour appliquer des traitements et des revêtements sur le dispositif ou le substrat une fois qu'elle a été retirée de la chambre. Cela offre des processus plus rapides et plus précis avec un risque réduit de contamination. GASONICS/NOVELLUS L 3510 utilise une interface logicielle contrôlée par ordinateur pour permettre un contrôle complet des paramètres du processus et de la configuration de l'équipement. Il dispose également d'un design modulaire qui permet aux utilisateurs d'ajouter facilement des fonctionnalités et de faire des mises à jour. Cela fait de GASONICS L 3510 un système de gravure très polyvalent capable de gérer une variété de travaux de gravure et de nettoyage. NOVELLUS L 3510 est également équipé d'un certain nombre de dispositifs de sécurité qui garantissent un fonctionnement sûr de l'unité. Cela comprend une machine de protection contre la surpression intégrée qui coupe la puissance en cas d'augmentation soudaine de la pression. En outre, l'outil est équipé d'un atout d'alarme qui peut détecter des problèmes de processus spécifiques et effectuer des corrections automatiquement. L 3510 est un modèle de gravure très efficace et fiable conçu pour vous aider à obtenir des résultats fiables et de haute qualité. Avec ses fonctionnalités avancées et ses capacités étendues, cet équipement est sûr de fournir aux utilisateurs un processus de gravure fiable et précis.
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