Occasion GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299014 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS L 3510 est un graveur/asher avancé utilisé pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Il est spécifiquement conçu pour des applications à haut débit nécessitant des cycles de gravure à plasma à couplage capacitif répétés (CCP). GASONICS L 3510 est livré avec une conception de chambre haute performance et une livraison de gaz à deux étages qui lui permet d'offrir des débits améliorés. NOVELLUS L 3510 etcher chambre est construit avec des matériaux qui sont compatibles à basse température et inertes au plasma à haute température généré lors du traitement. Cette combinaison de matériaux assure la plus grande uniformité de gravure, conduisant à l'amélioration des performances du dispositif. En outre, une électrostatique supérieure de grande capacité Chuck et grand soufflet cycliste permettent un traitement plasma efficace. Le système de distribution de gaz à deux étages est composé de deux tubes de distribution distincts qui permettent à l'graveur de délivrer des gaz différents dans différentes zones de la chambre pendant le traitement du plasma. Cela permet un contrôle plus précis du processus, améliorant l'uniformité des gravures. L 3510 offre des options d'automatisation avancées avec plusieurs fonctionnalités programmables, y compris le traitement de gravures multi-planaires, les émissions multi-gaz et les cycles de vidange indépendants pour chacune des deux chambres. Il dispose également d'un grand écran tactile qui fournit des informations en temps réel sur le processus et d'une interface de télécommande permettant à un technicien d'ajuster les paramètres du processus à partir d'un poste de travail distant. Pour plus de sécurité, GASONICS/NOVELLUS L 3510 dispose d'un système intégré de détection de plasma qui peut détecter lorsque le processus est sorti de spec et va arrêter le système immédiatement. Cette fonction garantit que le processus est sûr et ne causera pas de dommages à la plaquette ou à l'appareil. Dans l'ensemble, GASONICS L 3510 est un graveur/asher avancé qui assure un contrôle précis du processus de gravure, permettant des débits plus élevés et des performances du dispositif améliorées. Il est idéal pour les applications où une grande uniformité de gravure est critique et offre une automatisation améliorée avec des fonctionnalités programmables.