Occasion GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299015 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS L 3510 est un équipement de graveur/asher très avancé conçu pour les besoins de production exigeants de l'industrie des semi-conducteurs. Le système présente le Q-changement À grande vitesse Q-200, qui fournit à l'uniformité exceptionnelle et les hauts taux de déposition jusqu'à 200nm/sec. L'unité dispose également de pressions de fonctionnement du gaz jusqu'à 75 millibar, permettant un débit efficace avec des cycles de processus plus rapides. De plus, la machine est capable d'exposer de grandes surfaces à la fois grâce à son support de balayage X-Y, jusqu'à un maximum de 22 watts/cm2. GASONICS L 3510 fournit la stabilité du processus avec son célèbre contrôle Open-loop Sense-and- Match™, qui permet d'ajuster en temps réel les paramètres critiques pendant le processus de gravure. Cela donne à l'utilisateur la possibilité de peaufiner le processus de gravure pour s'assurer que la recette est optimisée pour le meilleur produit final possible. L'outil dispose également d'une automatisation intelligente pour minimiser la participation des opérateurs aux processus manuels répétitifs. NOVELLUS L 3510 est également conçu pour la sécurité, avec un blindage de classe M pour minimiser les risques de contamination et de réduction du bruit. Une autre caractéristique de sécurité est la vue périscope qui permet d'observer l'intérieur de la chambre. Cet actif est également équipé du modèle propriétaire GASONICS µV™ qui mesure et surveille le potentiel plasmatique en temps réel. Cela rend l'équipement plasma à l'abri des courts potentiels causés par l'accumulation excessive de tension dans la chambre de processus. Pour garantir la meilleure performance et un débit maximal, L 3510 est équipé du berceau P-Integrated innovant qui permet un alignement plus fin du substrat et des gradients thermiques réduits à travers le substrat. C'est une caractéristique importante lors de la gravure de hautes caractéristiques de ratio d'aspect qui pourraient être endommagés par l'accumulation de chaleur. Le système dispose également d'un blindage uniforme sur les axes X et Y, ainsi que de composants isolés RF/DC isothermes. GASONICS/NOVELLUS L 3510 est une unité de graveur/asher avancée et hautement capable, conçue en fonction des besoins de l'industrie des semi-conducteurs. Il offre à l'utilisateur un haut degré de contrôle des processus, d'excellentes performances et une sécurité sans précédent. C'est une machine idéale pour une large gamme de procédés allant de la gravure à haut rapport d'aspect aux substrats et procédés de spécialité.