Occasion GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9308469 à vendre en France
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ID: 9308469
Style Vintage: 1995
Asher
Spare parts and µ-wave RF-generator included
Control screen (Shows ribbons) and robot PCB non-functional
1995 vintage.
GASONICS/NOVELLUS L 3510 est un graveur et asher à grande vitesse utilisé pour une large gamme d'applications de traitement de plaquettes dans l'industrie des semi-conducteurs. Cet équipement utilise des technologies de pointe telles que le dépôt chimique en phase vapeur à pression atmosphérique (APCVD) et la gravure rotative séquentielle à plaques (SPRE) pour traiter des plaquettes à des vitesses élevées. GASONICS L 3510 a une large gamme de capacités, y compris le dépôt d'oxyde, de nitrure et de silicium polycristallin sur des plaquettes de silicium, la gravure de motifs et de structures complexes, et l'élimination de matériaux indésirables de la surface de la plaquette. NOVELLUS L 3510 offre des performances à haute vitesse et un fonctionnement fiable. Le système a une vitesse de fonctionnement allant jusqu'à 50 plaquettes par heure et est capable de commander jusqu'à six chambres séparées. Il peut également manipuler des plaquettes de différents diamètres (8 « à 12 »). La machine dispose de capacités de purge automatique des chambres et de gestion des liquides, assurant un environnement de travail propre et des résultats cohérents. L'unité est équipée d'un bras robotisé robuste et d'une machine de contrôle de mouvement, permettant un étalonnage rapide et précis du processus de gravure et de cueillette. L 3510 utilise un large éventail d'outils et de technologies de pointe, tels que la lithographie ultra-violette et le faisceau d'électrons, l'introduction séquencée de gaz et la technologie des sources de plasma. L'outil est équipé de dispositifs de sécurité avancés, tels que la protection logicielle automatique, pour assurer un environnement de travail sûr. En outre, les utilisateurs peuvent surveiller les paramètres du processus et la production en temps réel, permettant un contrôle optimal du processus. GASONICS/NOVELLUS L 3510 offre plusieurs avantages pour les fabricants de semi-conducteurs. Ses capacités avancées de contrôle des processus et les performances à grande vitesse permettent d'améliorer les temps de cycle et les rendements, ce qui se traduit par une productivité accrue et de meilleurs rendements. En outre, GASONICS L 3510 est équipé de caractéristiques de sécurité avancées, assurant un environnement de travail sûr. En outre, l'actif a un faible coût de propriété et est conçu pour une grande fiabilité. En conclusion, NOVELLUS L 3510 est un graveur et asher de pointe idéal pour l'industrie des semi-conducteurs. Le modèle haute vitesse et fiable offre une large gamme de capacités et de fonctionnalités et est capable de contrôler jusqu'à six chambres. L 3510 est très fiable, économique et offre des temps de cycle et des rendements améliorés, ce qui en fait un excellent choix pour les fabricants de semi-conducteurs.
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