Occasion GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9373158 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS L 3510 est un équipement de gravure plasma qui est utilisé pour créer des structures fines sur des substrats pour la fabrication de circuits intégrés et d'autres composants électroniques. Il est basé sur la méthode d'utilisation des gaz réactifs pour former un plasma de gravure ou de gravure ionique réactive (RIE). Ce procédé est utilisé pour créer des structures à la surface de substrats comprenant le métal, le silicium, le quartz et la céramique. Les principales caractéristiques de GASONICS L 3510 sont sa capacité à graver des caractéristiques très fines et précises en raison de sa flexibilité dans le contrôle des paramètres de gravure, y compris la vitesse de gravure, la profondeur de gravure, et la taille des caractéristiques. Cela permet une gravure avec une grande précision et précision. NOVELLUS L 3510 a une précision de profondeur de gravure inférieure à 1 mm, une taille de champ de 50 mm × 50 mm (2 « × 2 ») et une vitesse de gravure de 1 à 10 nms. En outre, le système dispose d'un optimiseur de carburant graduel, ce qui réduit le temps et le coût de gravure. L 3510 a également des caractéristiques de sécurité accrues qui le rendent adapté à une gamme d'applications industrielles, y compris des matériaux de haute performance comme le carbure de silicium et les revêtements de type diamant. Il s'agit notamment d'une chambre RF fermée au four, d'une paroi intérieure exposée pour un nettoyage facile et d'un filtre HEPA qui capture les particules dangereuses. L'unité est idéale pour un environnement industriel en raison de sa construction en acier inoxydable et la capacité d'être actionné à distance. En termes de paramètres opérationnels, GASONICS/NOVELLUS L 3510 a une capacité de température de substrat allant jusqu'à 700 ° C et une plage de pression de 1,1 à 10,0 mbars. La machine supporte également une variété de gaz de procédé, y compris le chlore, le fluor, l'argon, l'azote, ou des combinaisons de ceux-ci. Il dispose également d'un socle de commande de gaz, qui permet un accès aisé à l'outil de distribution de gaz ainsi qu'un contrôle précis du gaz. Enfin, GASONICS L 3510 est équipé d'une interface tactile intuitive, permettant aux utilisateurs de surveiller et de contrôler les processus de gravure. L'actif comprend également un enregistreur de données qui fournit des rapports de gravure détaillés et des dossiers de traitement. Dans l'ensemble, NOVELLUS L 3510 est un graveur efficace, précis et convivial qui convient à une variété d'applications industrielles.