Occasion GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9374853 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS L 3510 est un équipement avancé de gravure/cendres pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il offre un débit élevé, une uniformité de dépôt supérieure et une fidélité de motif supérieure à celle des autres systèmes de gravure/cendres. Avec son haut débit, le système peut supporter un débit de production tout en offrant flexibilité et évolutivité jusqu'à 6 pouces de plaquettes. Le processus débute dans le module Précurseur, qui est conçu pour pré-traiter les dispositifs avant l'étape de gravure ou de cueillette. Le module abrite une grande source de dose unique de divers précurseurs chimiques, dont le chlore, l'azote et le fluor. Cette combinaison de précurseurs donne lieu à des dépôts de couches plus denses, à une meilleure conservation et à une réduction du temps de traitement. Dans le module Etch/Ash, la plaquette est placée dans une chambre de procédé qui contient la source de gravure/cendres et est exposée à une combinaison de produits chimiques. Une série d'étapes de douche impulsionnelle dos à dos assure même le dépôt et la gravure, tandis que le processus de gravure ionique réactive à grande vitesse grave le motif de l'appareil. Le module Plasma Source utilise un générateur haute fréquence pour créer un plasma, qui fournit de l'énergie au matériau désiré pour permettre la gravure et l'ashing. La source de plasma supporte également une meilleure couverture diélectrique, des rapports d'aspect plus élevés et des temps de traitement plus rapides que les systèmes de gravure/cendres humides. De plus, GASONICS L 3510 est équipé d'un journal de bord multifonctionnel pour la surveillance en temps réel, l'affichage des tendances et la récupération des fichiers journaux. Cela permet aux utilisateurs de surveiller tous les paramètres du processus, ainsi que de permettre à l'unité d'effectuer un balayage complet de la chambre de processus avant chaque exécution. Cela garantit la cohérence, la précision et la fiabilité. NOVELLUS L 3510 est une machine de gravure/cendres polyvalente et puissante, conçue pour fournir un traitement rapide et économique des plaquettes jusqu'à 6 pouces. Sa combinaison de haut débit et de fidélité supérieure au motif en fait un excellent choix pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.