Occasion GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9387796 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS L 3510 est un outil de gravure à sec/ashing de pointe. Cette unité est conçue pour graver et aspirer avec précision les substrats semi-conducteurs en utilisant une combinaison de gravure plasma et de gaz de gravure. Cet équipement est capable d'obtenir des caractéristiques et des détails très fins sur divers substrats tels que le silicium, les composés III-V ou tout autre matériau semi-conducteur. Les capacités de gravure et de cendrage avancées de GASONICS L 3510 aident à créer des caractéristiques très claires et bien définies sur les surfaces du substrat. Le système est équipé d'un certain nombre de capacités puissantes qui sont conçues pour aider à maximiser la précision et les performances de gravure et de cueillette. Les principales affirmations de NOVELLUS L 3510 sont l'unité de distribution de gaz, qui permet un contrôle précis de l'environnement de gravure, ajustant la pression, la température et la composition des gaz lors de la gravure, contribuant à minimiser la contamination et à maintenir l'uniformité. En outre, les gaz utilisés lors de la gravure et de l'ashing peuvent être modifiés en fonction du type de substrat traité, en adaptant les paramètres de gravure à un matériau particulier. L 3510 possède également une source de plasma avancée qui aide à éliminer tous les contaminants de la surface du substrat, assurant une surface parfaitement lisse et plane avant la gravure et le cendrage. Le processus de gravure et de cueillette est effectué sous vide, avec la possibilité facultative d'utiliser une chambre d'azote basse pression (LPN) pour aider à purger les résidus ou contaminants nocifs de la chambre de gravure. GASONICS/NOVELLUS L 3510 peut également être utilisé pour effectuer des traitements thermiques avancés tels que le traitement thermique rapide (RTP), si nécessaire pour affiner la surface du substrat ou éliminer les contaminants. Le paquet est hautement automatisé, ce qui permet de réaliser rapidement et efficacement la configuration et le fonctionnement de GASONICS L 3510. Il supporte également un grand nombre de recettes qui peuvent être programmées permettant un degré accru de contrôle sur le processus de gravure et d'ashing. La machine est facile à utiliser et ses caractéristiques de production en font un outil rentable pour une variété de processus de gravure et d'ashing. NOVELLUS L 3510 est également soutenu par un réseau mondial d'experts en application qualifiés, contribuant à garantir des performances de gravure et de cendrage optimales.