Occasion GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9392635 à vendre en France

GASONICS/NOVELLUS L 3510 est un équipement de graveur/asher avancé qui combine les processus de gravure plasma, chimique et physique dans un seul outil intégré. Ce système avancé est adapté à un large éventail d'applications, des interconnexions avancées aux dispositifs semi-conducteurs composés. L'etcher/asher dispose d'une unité de manutention robotique intégrée avec quatre chambres indépendantes, chacune avec son propre contrôle des gaz et des procédés. La machine offre également un processus en plusieurs étapes, permettant à l'utilisateur de définir jusqu'à huit recettes dans chaque chambre. Cette fonctionnalité permet à l'etcher/asher de traiter plusieurs substrats en un seul cycle, augmentant le débit et la flexibilité de l'utilisateur. GASONICS L 3510 utilise des techniques de gravure thermique et chimique. La gravure thermique est réalisée à l'aide d'un graveur ionique/plasma réactif, capable de générer des conditions plasmatiques jusqu'à 100 watts. L'outil dispose également d'un processus de cuisson réglable pour aider à optimiser la préparation de la surface du substrat. Le graveur de plasma est complété par un outil de gravure chimique, qui utilise une variété d'espèces chimiques pour éliminer les matériaux. L'actif est conçu pour fournir un contrôle des dimensions critiques à haute résolution, avec une précision d'imagerie photomasque inférieure à 0,5 µm. Ceci est réalisé en couplant un modèle d'imagerie avec une unité de dépôt à base d'arséniure de gallium/nitrure/arséniure. En outre, l'équipement peut traiter des substrats jusqu'à 250mm de diamètre (8 "wafer) et a une bride de vide interne avec des pressions de processus de 1 mtorr à 100 mtorr. NOVELLUS L 3510 est un système flexible et compact, parfait pour fabriquer la géométrie parfaite les circuits de μVLSI, photonic et les appareils à micro-ondes, les câbles d'interconnexion et les composantes optiques. Cette combinaison graveur/asher permet un traitement de surface précis, une gravure et une cueillette de divers substrats avec un débit élevé et une grande répétabilité. Sa fiabilité et ses performances supérieures font de L 3510 un outil idéal pour les applications avancées de gravure et d'ashing.