Occasion GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9396061 à vendre en France

Le GatanGASONICS/NOVELLUS L 3510 est un équipement de pointe conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Utilisant la diffusion Thomson et une source d'énergie élevée, GASONICS L 3510 est capable de graver et d'aspirer avec précision la résine photosensible et d'autres matériaux au niveau du sous-micron. Le système est composé d'une colonne source d'ions, d'une colonne optique d'ions, d'une lentille électrostatique, d'un multiplicateur d'énergie ionique et d'un capteur d'énergie ionique. De plus, une gamme d'optique interne et de technologie de procédé est contrôlée par un rocesseur C ontrol P dédié. L'unité d'analyse avancée de NOVELLUS L 3510 intègre une capacité d'analyse de surface à haute gauche qui permet l'enlèvement des matériaux sensibles et la passivation qui soutient l'intégrité des matériaux optiques avancés. L'une des caractéristiques les plus notables de L 3510 est la machine d'injection de gaz réglable qui permet de choisir deux niveaux de gravure et de cueillette de particules énergétiques, permettant ainsi un réglage ultrafin efficace des résultats. GASONICS/NOVELLUS L 3510 accepte plusieurs types de plaquettes, comme les plaquettes de silicium, les plaquettes à base d'arsenic et les plaquettes de quartz, pour la gravure et la passivation. La suite d'analyses incluse sur GASONICS L 3510 permet également aux utilisateurs de surveiller et de mesurer la production totale d'ions, l'uniformité de l'énergie des ions, l'uniformité de la position du faisceau d'ions, la pression de la chambre et d'autres variables de processus en temps réel. Avec l'outil multi-chambres ConsuL Turbo EC en option, plusieurs systèmes NOVELLUS L 3510 etcher/asher peuvent être reliés, permettant le traitement automatisé et l'analyse de plusieurs plaquettes. L 3510 dispose également d'excellentes capacités de traitement de données et de systèmes d'interface de communication. L'analyse des données, comme le profil de profondeur, est activée avec l'interface utilisateur graphique intégrée. Globalement, le GatanGASONICS/NOVELLUS L 3510 est un graveur et asher performant, fiable et économique pour la fabrication moderne de semi-conducteurs.