Occasion GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9400257 à vendre en France
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GASONICS/NOVELLUS L 3510 est un graveur/asher qui peut être utilisé pour transférer des couches d'une plaquette de silicium vers un substrat en couche mince. Ce dispositif est conçu pour le formage de fenêtres et de profilés de surface de haute précision, et il est compatible avec une variété de produits chimiques de gravure et de dépôt. C'est un excellent choix pour le traitement micro- et nanométrique, et peut être utilisé dans des procédés tels que la fabrication de cellules photovoltaïques, la détection chimique/gazeuse, et les technologies MEMS/NEMS. GASONICS L 3510 est équipé d'une variété de caractéristiques qui en font une option souhaitable pour la gravure et l'ashing. Il dispose d'un ensemble de fenêtre optique avancé avec un contrôle de focalisation intégré, un design modulaire qui peut être facilement configuré pour répondre aux besoins des applications, une architecture de colonne double faisceau, et un équipement robuste d'alimentation haute densité. Le dispositif dispose également d'une gamme de paramètres de contrôle de l'environnement, y compris des systèmes avancés de purge des gaz et de vide, de géocorrélation de la température et de traitement du liquide de refroidissement pour un fonctionnement sûr et fiable. En outre, l'appareil est équipé d'un système d'écriture directe qui peut atteindre une précision allant jusqu'à 50nm, permettant des résultats extrêmement précis. En termes de performance, NOVELLUS L 3510 est conçu pour une précision et une flexibilité maximales. Il est capable de fonctionner à un niveau de vide aussi bas que 10e-6 Torr, avec une vitesse de dépôt allant jusqu'à 200 A/min et une vitesse de gravure allant jusqu'à 20 mA/cm2. Il dispose d'une unité d'alimentation en courant continu pouvant fonctionner jusqu'à 600V et jusqu'à 5kW. De plus, le dispositif est également équipé d'une gamme d'outils de diagnostic, dont un compteur de courant de faisceau sensible, un moniteur de visibilité et un capteur de gaz. L 3510 est facile à entretenir et à entretenir. L'appareil est équipé d'une gamme de paramètres de surveillance et de contrôles réglables du mode de fonctionnement, qui permettent un diagnostic facile et le dépannage. En outre, l'appareil est équipé d'une gamme de caractéristiques de sécurité, y compris une machine d'autodiagnostic pour une performance améliorée. Le dispositif est également compatible avec une gamme de consommables compatibles, permettant un remplacement facile et un fonctionnement en salle blanche. En conclusion, GASONICS/NOVELLUS L 3510 est un graveur/asher avancé conçu pour des processus de formage de fenêtres et de profilés de surface de haute précision. Il est équipé d'une variété de caractéristiques qui en font un excellent choix pour les applications micro et nanométriques, tout en fournissant un fonctionnement fiable et sûr. En termes de performances, le dispositif est capable d'une grande précision et offre une gamme de paramètres réglables. Et grâce à sa facilité d'entretien et d'entretien, GASONICS L 3510 est un choix idéal pour les processus de gravure et d'ashing.
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