Occasion GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9411534 à vendre en France
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ID: 9411534
Style Vintage: 2000
Asher
Photoresist strip
Substrate size: 3"-8"
Footprint: 30"
Main frame:
Aluminum chamber
Quartz chamber
Wafer cooling station with PCW
Platen and lamp heating (Flexibility)
Reliable endpoint detection
Z-Bot station (Robot)
Load cassettes elevator
DC Power supply: -5, +5, -12, +12 VDC
(2) DC Power supplies: +5, -15, +15, +24 VDC
I/O Board
Distribution board
Display board
Graphics control board
Hard Disk Drive (HDD)
Floppy Disk Drive (FDD), 3.5"
Microwave generator: 2.45 GHz, 1250 W
Interlock wafer transport
Microwave power supply
Gas flow controller
Visual alarm indicator lamp
Quartz gas distribution shower heads
Radiant heating plate
UV Lamp
End point detection
Plasma system controller
Tolerance limit alarm (pressure, flow, lamps)
Gas handling module and control features
(3) Gas lines with purge:
O2 MFC
(2) N2 MFC
Stainless steel valves gas line
Solenoid control: 24 VDC
Soft pump to limit chamber turbulence
AC Power box
Circuit breaker: 30 Amp
Remote option connector
EMO Control to master system
Circuit breaker
Magnetron
Schematic display driver
Process kits
Panel included
Manuals included
Power supply: 200-240 VAC, 50/60 Hz, Single phase, 30 A
2000 vintage.
GASONICS/NOVELLUS L 3510 est un équipement de pointe de graveur/asher conçu pour fournir un débit maximal et un contrôle total des processus dans les environnements de production. Le système est une plate-forme auto-intégrée, avec une commande laser haut de gamme et des solutions logicielles pour identifier, mesurer et modifier les paramètres de gravure et asher en fonction des besoins spécifiques. Les caractéristiques innovantes et les performances de GASONICS L 3510 Etcher/Asher sont inégalées. La technologie laser garantit une précision et une précision maximales dans la fabrication même des appareils les plus complexes. En outre, l'unité est compatible avec différents matériaux de substrat et diverses technologies, allant des formulations en couches minces et couches diélectriques avancées à la gravure et au cendrage de matériaux optiques tels que le saphir et l'oxyde de silicium. NOVELLUS L 3510 est construit sur une plate-forme robuste, de qualité industrielle, ce qui le rend adapté aux cycles de production exigeants. Son grand pont de 15 pouces permet des déconnexions rapides et des add-ons modulaires, de sorte que la machine peut rapidement évoluer en fonction de l'évolution des exigences de production. L'outil est également équipé d'actionneurs résonants linéaires monolithiques qui minimisent la dérive sur de grands lots de substrats, assurant des résultats uniformément répartis et maintenant des paramètres de gravure cohérents. La plateforme logicielle de l'actif elle-même est conçue pour faciliter tous les aspects de la gravure. L'interface utilisateur permet un contrôle total sur l'ensemble du processus, y compris la réponse étape par étape du laser et le contrôle simultané de résonateurs multiples. De plus, le logiciel permet une surveillance personnalisée des processus, un contrôle de configuration et une rétroaction externe pour des réglages rapides et précis des processus. Dans l'ensemble, L 3510 Etcher/Asher est un modèle de meilleure qualité qui garantit des résultats fiables et reproductibles dans un large éventail de processus de production. La commande laser de haute précision, la plate-forme matérielle intégrée et la suite logicielle complète garantissent la plus grande précision et le contrôle pour les opérations de gravure et d'ashing exigeantes.
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